基于PLC的PECVD溫度控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)

游錦山 陳長(zhǎng)琦 汪根生 林 勝

(合肥工業(yè)大學(xué) 合肥 230009)

　　摘要： PECVD 溫度控制系統(tǒng)的精確性和穩(wěn)定性對(duì)獲得結(jié)構(gòu)穩(wěn)定和性能優(yōu)良的半導(dǎo)體薄膜材料非常重要。本文基于西門(mén)子S7-300 可編程控制器(PLC)為控制核心，搭配觸摸屏為人機(jī)交換界面(HMI)，論述了PECVD 溫度控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。PLC 與HMI 基于MPI協(xié)議實(shí)現(xiàn)通信功能，采用WinCC flexible 組態(tài)友好的控制界面，完成數(shù)據(jù)輸入/輸出、參數(shù)修改、實(shí)時(shí)監(jiān)控和報(bào)警聯(lián)鎖。

　　以STEP 7 為程序設(shè)計(jì)平臺(tái)，在定時(shí)中斷組織模塊(OB35)中循環(huán)調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)溫度功能塊(FB58)編程實(shí)現(xiàn)對(duì)溫度的PID 閉環(huán)控制,擴(kuò)展PLC 模擬量輸入模塊SM331 對(duì)熱電阻標(biāo)準(zhǔn)模擬信號(hào)實(shí)現(xiàn)A/D 轉(zhuǎn)換，結(jié)合FB58 集成的脈寬調(diào)制輸出功能，將PID 運(yùn)算結(jié)果轉(zhuǎn)換成脈沖占空比控制固態(tài)繼電器執(zhí)行加熱動(dòng)作。

　　該系統(tǒng)提高了PECVD 溫度控制的自動(dòng)化水平，并有效縮短控制回路的調(diào)節(jié)時(shí)間，減小超調(diào)量，確保了溫度的準(zhǔn)確控制和系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。

　　關(guān)鍵字：PECVD PLC HMI 溫度控制