膜材加熱到一定溫度時(shí)就會(huì)發(fā)生氣化現(xiàn)象，即由固相或液相進(jìn)入到氣相，在真空條件下物質(zhì)的蒸發(fā)比在常壓下容易得多，所需的蒸發(fā)溫度也大幅度下降，因此熔化蒸發(fā)過(guò)程縮短，蒸發(fā)效率明顯地提高。例如，在一個(gè)大氣壓下，鋁必須加熱到2400℃才能蒸發(fā)，但是在10^-3 Pa 的真空條件下只要加熱到847℃就可以大量蒸發(fā)。真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.lalazzu.cn)總結(jié)了某些金屬材料的蒸汽壓與溫度的關(guān)系曲線如圖3 所示，某些常用材料在蒸汽壓為1 Pa 時(shí)的蒸發(fā)溫度見(jiàn)表2。

圖3 某些常用膜材蒸汽壓與溫度的關(guān)系曲線

表2 常用膜材的熔化與蒸發(fā)溫度(蒸汽壓1 Pa)

　　從表中數(shù)據(jù)可以看出，某些材料如鐵、鎘、硅、鎢、鉻、鋅等可從固態(tài)直接升華到氣態(tài)，而大多數(shù)材料則是先熔化，然后從液相中蒸發(fā)。一般來(lái)說(shuō)，金屬及其熱穩(wěn)定化合物在真空中只要加熱到高于其飽和蒸汽壓1Pa 以上時(shí)，均能迅速蒸發(fā)。而且除了銻是以分子形式蒸發(fā)外，其它金屬均以單原子形式蒸發(fā)進(jìn)入氣相。