納米氧化物薄膜的APCVD 法制備、微結(jié)構與穩(wěn)定性

韓高榮 高 倩

(浙江大學硅材料國家重點實驗室材料科學與工程系 杭州 310027)

　　摘要：根據(jù)中國建筑節(jié)能的需要, 針對高效節(jié)能鍍膜玻璃對膜層材料的不同要求，采用常壓化學氣相沉積法(APCVD)在浮法玻璃基板上沉積制備了摻氟氧化錫薄膜、氧化鈦薄膜等各類節(jié)能功能鍍層。研究了反應溫度和反應氣體流量等工藝對功能薄膜的微結(jié)構和玻璃節(jié)能性能的影響。利用X 射線衍射(XRD)儀、高分辨透射電鏡(HRTEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)、四探針電阻儀、霍爾測試儀和分光光度計等對各類薄膜的微結(jié)構、形貌、以及光電性能進行了分析，系統(tǒng)研究了熱處理溫度和時間對納米氧化物薄膜的微結(jié)構和功能穩(wěn)定性的影響規(guī)律，得到了一系列有重要科學意義和實際應用價值的結(jié)果。

　　根據(jù)浮法平板玻璃的生產(chǎn)技術和工藝特點，采用熱分解化學氣相沉積方法和金屬有機化合物化學氣相沉積方法，通過多層復合，解決了功能復合薄膜的設計、制備、性能優(yōu)化等理論和實踐問題，獲得了具有自主知識產(chǎn)權的浮法在線玻璃鍍膜技術，可實現(xiàn)低成本、大面積、大規(guī)模的工業(yè)化生產(chǎn)，成功地在浮法玻璃基板上制備出低輻射鍍膜玻璃等新型節(jié)能鍍膜玻璃，其輻射率、均勻性及可見光透射比和可見光反射比等指標均達到國外生產(chǎn)的國際知名品牌的同類產(chǎn)品性能，取得了重大的經(jīng)濟效益和社會效益，推動了中國玻璃行業(yè)的技術進步。