無論是哪種真空鍍膜機鍍制的薄膜，其均勻性都會受到某種因素影響，現在我們就磁控濺射真空鍍膜機來看看造成不均勻的因素有哪些。

　　磁控濺射真空鍍膜機的運作就是通過真空狀態(tài)下正交磁場使電子轟擊氬氣形成的氬離子再轟擊靶材，靶材離子沉積于工件表面成膜。如此我們可以考慮與膜層厚度的均勻性有關的有真空狀態(tài)、磁場、氬氣這三個方面。

　　真空狀態(tài)就需要抽氣系統(tǒng)來控制的，每個抽氣口都要同時開動并力度一致，這樣就可以控制好抽氣的均勻性，如果抽氣不均勻，在真空室內的壓強就不能均勻了，壓強對離子的運動是存在一定的影響的。另外抽氣的時間也要控制，太短會造成真空度不夠，但太長又浪費資源，不過有真空計的存在，要控制好還是不成問題的。

　　磁場是正交運作的，但你要把磁場強度做到百分之一百均勻是不可能的，一般磁場強的地方，成膜厚度就大，相反就小，所以會造成膜層厚度的不一致，不過在生產過程中，由于磁場的不均勻導致的膜層不均勻的情況卻不是常見的，為什么呢?原來磁場強弱雖然不好控制，但同時工件也在同時運轉，而且是靶材原子多次沉積才會結束鍍膜工序，在一段時間內雖然某些部位厚，某些部位薄，但另一個時間內，磁場強的作用下在原來薄的部位沉積上厚的，在厚的部位沉積上薄的，如此多次，整個膜層最終成膜后，均勻性還是比較不錯的。

　　氬氣的送氣均勻性也會對膜層的均勻性產生影響，原理其實和真空度差不多，由于氬氣的進入，真空室內壓強會產生變化，均勻的壓強大小可以控制成膜厚度的均勻性。

　　雖然總是會有那么幾種因素造成膜層的不均勻，但如果正確的把真空鍍膜機的操作做到位了，那么膜層的合格率是很高的。

投稿公司信息：

　　東莞市匯成真空科技有限公司

　　電話：0769-85611172 85611173

　　傳真：0769-85611411

　　網址：http://www.suichenggd.cn/

　　郵箱：office@suichenggd.cn

　　公司地址：東莞市大嶺山鎮(zhèn)顏屋村第四工業(yè)區(qū)

　　郵政編碼：523838