當(dāng)真空玻璃真空度衰減或損失時，會導(dǎo)致真空玻璃的支撐物與玻璃相互支撐作用力發(fā)生變化，改變玻璃的支撐條件，從而使玻璃的固有頻率發(fā)生改變。因此，根據(jù)此原理，我們可以采用動態(tài)法獲得真空玻璃的固有頻率，建立起真空玻璃固有頻率與其真空度的關(guān)系，從而根據(jù)在線測得的固有頻率來檢測真空玻璃的真空度。

1、動態(tài)法檢測真空玻璃真空度的基本原理

　　為了探討真空玻璃與其固有頻率之間的關(guān)系，本文選擇了一具有代表性的真空玻璃進(jìn)行了試驗。真空玻璃試樣尺寸為300mm @ 210 mm，玻璃單片厚度為4mm。為獲得真空玻璃在自由狀態(tài)下的振動固有頻率，可將真空玻璃懸空吊起，通過敲擊激振玻璃，振動信號由聲音傳感器采集并通過INV306S- SP2 聲壓測試分析儀進(jìn)行分析，然后將分析信號通過電荷電壓濾波積分放大器處理，最后將處理好的信號直接輸送到電腦，用專門軟件進(jìn)行分析與處理，得到玻璃的振動固有頻率。為改變真空玻璃的真空度，首先向真空玻璃的真空腔體充滿氣體，然后用真空泵抽取空腔中的氣體，使空腔內(nèi)真空度改變，空腔里的真空度可直接由與真空泵相連接的真空表讀出。試驗測量了不同真空度下對應(yīng)的真空玻璃的固有頻率。試驗結(jié)果見圖6。

圖6 真空玻璃真空度與其固有頻率關(guān)系曲線( 300 mm @ 210 mm)

　　由上圖的關(guān)系曲線可以看出，在自由振動下,真空玻璃的固有頻率隨著其真空度的降低而降低，且降低速率隨真空度的減小而加快。真空玻璃的固有頻率能夠反應(yīng)其實際的工作狀態(tài)，且是一個較容易在線獲得的動態(tài)參數(shù)。很顯然，只要獲得了某一狀態(tài)下某塊真空玻璃的固有頻率，根據(jù)關(guān)系曲線，對應(yīng)的真空玻璃真空度就出來了。

2、動態(tài)法在線檢測真空玻璃真空度操作方法及應(yīng)用

　　通過上面的試驗分析得知，真空玻璃的固有頻率隨著真空度的降低而降低。為達(dá)到在線檢測真空玻璃的真空度，我們首先需要建立起實際工程應(yīng)用狀態(tài)下真空玻璃固有頻率與其真空度的關(guān)系曲線，獲得評價標(biāo)準(zhǔn)。評價標(biāo)準(zhǔn)的確定必須要選擇與待檢測工程相同的且具有代表性的樣品�，F(xiàn)場檢測時，就可以通過在線測量真空玻璃的固有頻率，找到對應(yīng)的真空度，從而得到真空玻璃的真空度保有量。評估標(biāo)準(zhǔn)的建立可以在現(xiàn)場進(jìn)行，通過人為改變某塊具有代表性的真空玻璃的真空度并測量相對應(yīng)下的固有頻率，也可以在試驗室里建立起與實際工程工作狀態(tài)相似的樣本測量得到。該方法的應(yīng)用特點(diǎn)是能夠達(dá)到定量地檢測玻璃的真空度，操作上也簡單，易于實現(xiàn)在線適時檢測和監(jiān)測。不足的地方就是真空度與固有頻率關(guān)系曲線確定不太容易，影響因素多，評價標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)確性直接影響到檢測結(jié)果的精度。