JB/T 10771-2007 真空技術(shù) 復(fù)合分子泵

Vacuum technology-Hybrid molecular pumps

復(fù)合分子泵（Hybrid molecular pumps）是一種分子泵，其特征在于泵的進(jìn)氣口側(cè)有一級(jí)，或者一級(jí)以上的渦輪分子泵抽氣單元，泵的排氣口側(cè)有一級(jí)或者一級(jí)以上的牽引分子泵抽氣單元，兩種抽氣單元串聯(lián)抽氣，組成一種有別于傳統(tǒng)渦輪分子泵和牽引分子泵的新穎分子泵。

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了復(fù)合分子泵的型式和基本參數(shù)，技術(shù)要求，測(cè)試方法，檢驗(yàn)規(guī)則，標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于具有前級(jí)泵、變頻電源的復(fù)合分子泵(以下簡(jiǎn)稱泵)。

起草單位：深圳大學(xué)

 歸口單位：全國(guó)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)  

發(fā)布部門：國(guó)家發(fā)展和改革委員會(huì)

發(fā)布日期：2007-8-28  

實(shí)施日期：2008-2-1 

 出版單位：機(jī)械工業(yè)出版社