JB/T 7462-2005 熱陰極電離真空規(guī)管
JB/T 7462—2005 熱陰極電離真空規(guī)管
Hot cathode vacuum gauge head
本標(biāo)準(zhǔn)代替JB/T 7462-1994《熱陰極電離真空規(guī)管技術(shù)條件》。
本標(biāo)準(zhǔn)與JB/T 7462-1994相比,主要變化如下:
增加了第3章術(shù)語(yǔ)和定義:
增加了裸規(guī)的相關(guān)內(nèi)容;
增加并修改了引用標(biāo)準(zhǔn):
修改了規(guī)管的工作環(huán)境(見(jiàn)4.1);
增加了裸規(guī)的封裝要求(見(jiàn)4.3.2);
修改了檢驗(yàn)規(guī)則的內(nèi)容(見(jiàn)第6章)
1、范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了熱陰極電離真空規(guī)管的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝與貯存等內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于中、高真空及超高真空(限于極限壓力不低于10乍a)熱陰極電離真空規(guī)管,包括玻璃規(guī)管和裸規(guī)。(以下簡(jiǎn)稱(chēng)規(guī)管)。
2、規(guī)范性引用文件
下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而,鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
GB/T 191 包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志(GB/T 191-2000, eqv IS0780: 1997)
GB/T 2828.1 計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第1部分:按接收質(zhì)量限(IQL)檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃(GB/T2828.1- 2003, ISO 2859-1: 1999, IDT)
GB/T 2829 周期檢查汁數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于生產(chǎn)過(guò)程穩(wěn)定性的檢查)
GB/T 3163 真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)
GB/T 6071 超高真空法蘭
GB/T 15464 儀器儀表包裝通用技術(shù)條件
JB/T 9329 儀器儀表運(yùn)輸,運(yùn)輸貯存基本環(huán)境條件及試驗(yàn)方法
3、術(shù)語(yǔ)和定義
GB/T 3163確立的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
3.1、X射線極限值 X-ray limit
一種熱陰極電離真空計(jì)的X射線極限值為與主要由離子收集極發(fā)射的光電子產(chǎn)生的殘余電流所引起的相同讀數(shù)的純氮壓力值。
3.2、零散性scattered
規(guī)管系數(shù)的偏差。
3.3、裸規(guī)nude gauge
一種沒(méi)有外殼的規(guī)頭,其敏感元件直接插人真空系統(tǒng)。
3.4、漏率leak rates
在規(guī)定的條件下,一種特定氣體通過(guò)漏孔的流量,單位為Pa·L·s-1,
4、技術(shù)要求
4.1、工作環(huán)境
規(guī)管在下述環(huán)境條件下應(yīng)能正常工作:
a)環(huán)境溫度:0℃_.40℃:
b)相對(duì)濕度:成90% (25℃時(shí))
4.2 外觀
a)玻璃規(guī)管外殼應(yīng)無(wú)裂縫或明顯的氣線、氣泡等缺陷;
b)規(guī)管內(nèi)壁與電極應(yīng)無(wú)污染與明顯的氧化現(xiàn)象;
c)規(guī)管外殼與管基之間的固定應(yīng)牢固。
4.3、連接
4.3.1、玻璃規(guī)管與真空系統(tǒng)連接部分的玻殼外徑應(yīng)為:15.5士0.5 mm;25士1 mm.
4.3.2 、裸規(guī)封裝結(jié)構(gòu)應(yīng)符合GB/T 6071的規(guī)定。
4.4 漏率
玻璃規(guī)管的漏率應(yīng)小于10-11Pa·m3·S-1。
裸規(guī)的漏率應(yīng)符合GB/T 6071的規(guī)定。
4.5、零散性
在壓力為10-2Pa時(shí),中、高真空規(guī)管系數(shù)的零散不超過(guò)120%.超高真空規(guī)管系數(shù)的零散不超過(guò)士30%.
4.6、測(cè)f范圍
規(guī)管測(cè)量范圍的上限由規(guī)管非線性S'不超過(guò)20%所對(duì)應(yīng)的壓力確定:規(guī)管測(cè)量范圍下限由規(guī)管X射線極限值(Po)的10倍確定。
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