微型離子泵抽速特性測(cè)試裝置

2013-03-21 王金鎖 上海維太真空技術(shù)有限公司

微型離子泵抽速特性測(cè)試裝置

王金鎖

上海維太真空技術(shù)有限公司

　　摘要：本文介紹了對(duì)標(biāo)稱抽速為(0.5～2)L/s 的離子泵，在(10-5～10-3)Pa 真空度下實(shí)際抽速特性的測(cè)試裝置和方法研究。

　　微型離子泵(單個(gè)或幾個(gè)抽速單元)抽速測(cè)量需要考慮以下因素：結(jié)構(gòu)必須簡(jiǎn)單，減少吸放氣影響;對(duì)離子泵單元高溫烘烤(350～550)℃除氣；測(cè)量方法以及測(cè)量?jī)x器的選取必須合理，主要考慮成本和不確定度的匹配。

　　本文中針對(duì)以上幾個(gè)主要方面的設(shè)計(jì)思路、加工制造進(jìn)行一定的闡述。