真空技術(shù)的典型應(yīng)用
現(xiàn)代社會(huì)每個(gè)人都在享受著真空技術(shù)給我們帶來的便利。例如：暖壺能保溫的秘訣就在于瓶壁內(nèi)有真空的空間，減少了熱傳導(dǎo)，以保持壺內(nèi)溫度;熒光燈、街燈、汽車照明燈的內(nèi)部也是真空狀態(tài)，否則就無法發(fā)光。電視、電腦顯示器等也離不開真空。眼鏡和攝像機(jī)、照相機(jī)鏡頭為了提高光的透過率，表面所鍍的光學(xué)薄膜也是應(yīng)用了真空技術(shù)。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)離不開真空技術(shù)。生產(chǎn)半導(dǎo)體元件：(1)要在硅片上摻入相應(yīng)的其他元素;(2)在生產(chǎn)集成電路時(shí)要形成復(fù)雜的金屬薄膜和絕緣膜;(3)要進(jìn)行表面的刻蝕處理等復(fù)雜的工序。如果生產(chǎn)過程中的真空度不夠，表面上沾了灰塵或油滴之后會(huì)出現(xiàn)嚴(yán)重的后果。集成電路中細(xì)線的寬度是吸煙時(shí)吐出的煙霧顆粒直徑的1/3，是一�；覊m直徑的近萬分之一。對(duì)集成電路而言，哪怕落有一顆煙霧的顆粒，就好像大路上停了一架大型飛機(jī)一樣，使電子無法通過或造成短路。
新材料開發(fā)離不開真空。以分子束外延為代表的薄膜生長(zhǎng)技術(shù)是新材料開發(fā)的重要手段，薄膜材料放到蒸發(fā)源中之后被蒸發(fā)或升華，在超高真空環(huán)境中，薄膜材料的原子或分子可以長(zhǎng)距離飛行，到達(dá)襯底成膜;而且由于殘留氣體少，襯底表面形成的薄膜純度高。
表面科學(xué)領(lǐng)域?qū)φ婵斩鹊囊髽O高。在極高真空的環(huán)境下，通過高溫退火或結(jié)合離子濺射而獲得物質(zhì)的清潔表面，這時(shí)的表面沒有吸附任何其他的分子或原子。利用掃描隧道電子顯微鏡等尖端的表面分析實(shí)驗(yàn)手段，可以看到物質(zhì)表面的原子排列和電子狀態(tài)。
物理學(xué)中最尖端的粒子加速器，是大規(guī)模真空技術(shù)的組合。電子(或其他帶電粒子)要被加速到接近光速，如果電子儲(chǔ)存環(huán)中不是超高真空狀態(tài)，則電子會(huì)和其中的分子或原子碰撞，從而迅速衰減。另外，核聚變反應(yīng)要達(dá)到上億度的高溫，極高真空環(huán)境是系統(tǒng)工作的基本前提。
軍工、宇宙開發(fā)方面也離不開真空。隱形飛機(jī)或潛艇，要最大限度地吸收雷達(dá)波，以達(dá)到不被發(fā)現(xiàn)的目的。涂在飛機(jī)或潛艇上的吸收雷達(dá)波材料，就是活用真空技術(shù)而獲得的納米顆粒。宇宙開發(fā)更離不開真空，因?yàn)橛钪姹旧砭吞幱诔哒婵諣顟B(tài)。宇宙飛船使用的材料、對(duì)接技術(shù)，以及宇航員的太空服，處處都是真空技術(shù)的結(jié)晶。
真空技術(shù)的典型應(yīng)用參照表1.2。其中的部分概念，將在以后的章節(jié)中加以介紹。
表1.2 真空技術(shù)的典型應(yīng)用
