真空技術(shù)中，氣體沿管道的流動(dòng)狀態(tài)可劃分為如下幾種基本形式：從大氣壓力下開始抽真空的初期，管道中氣體壓力和流速較高，氣體的慣性力在流動(dòng)中起主要作用，流動(dòng)呈不穩(wěn)定狀態(tài)，流線無規(guī)則，并不時(shí)有旋渦出現(xiàn)，這種流動(dòng)狀態(tài)稱為湍流(渦流，紊流)；隨著流速和氣壓的降低，在低真空區(qū)域內(nèi)，氣流由湍流變成規(guī)則的層流流動(dòng)，各部分具有不同速度的流動(dòng)層，流線平行于管軸，氣體的粘滯力在流動(dòng)中起主導(dǎo)作用，此時(shí)氣體分子的平均自由程λ仍遠(yuǎn)小于導(dǎo)管最小截面尺寸d，這種流態(tài)叫做粘滯流；當(dāng)氣體流動(dòng)進(jìn)入高真空范圍，分子平均自由程λ遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于管道最小尺寸d時(shí)，氣體分子與管壁之間的碰撞占居主要地位，分子靠熱運(yùn)動(dòng)自由地直線進(jìn)行，只發(fā)生與管壁的碰撞和熱反射而飛過管道，氣體流動(dòng)由各個(gè)分子的獨(dú)立運(yùn)動(dòng)疊加而成，這種流動(dòng)稱作分子流；發(fā)生在中真空區(qū)域內(nèi)，介于粘滯與分子流之間的流動(dòng)狀態(tài)叫做中間流或過渡流。

    在不同的流動(dòng)狀態(tài)下，管道中的氣體流量和導(dǎo)氣能力計(jì)算方法不同，因此在氣體流動(dòng)計(jì)算時(shí)，首先要進(jìn)行流態(tài)判別。由于在真空抽氣過程中湍流的出現(xiàn)時(shí)間較短，常常不加以單獨(dú)考慮，而是將其歸入粘滯流態(tài)。其它流動(dòng)狀態(tài)的判別可用克努曾數(shù)λ/d 或管道中平均壓力p與幾何尺寸d的乘積pd作為判據(jù)：

    粘滯流            λ/d＜1/100             pd＞1Pa·m
    中間流            1/100＜λ/d＜1/3       0.03Pa·m＜pd＜1Pa·m   (27)
    分子流            λ/d＜1/3             pd＜0.03Pa·m

    為了考察管道中流過的氣體數(shù)量的多少，可以使用氣體的質(zhì)量流率q_m(kg／s)和摩爾流率q_v(mol/s)，即單位時(shí)間內(nèi)通過管道某一截面的氣體質(zhì)量和氣體摩爾數(shù)。不過這兩種流率不便實(shí)際測量，因此工程中廣泛使用的是單位時(shí)間內(nèi)流過管道指定截面的氣體體積，即體積流率q_v(m³／s)。在氣體壓力為p的截面上，q_v與q_m、q_γ的關(guān)系為
            q_m = pM/RT·q_v 和 q_v = p/RT·q_v (28)
    在真空泵入口處的氣體體積流率又稱為泵的抽氣速率(簡稱抽速)，是真空泵的重要性能指標(biāo)之一。由于在不同壓力下，相同的體積流率對應(yīng)有不同的質(zhì)量流率，所以在計(jì)算體積流率量值時(shí)，必須指明所對應(yīng)的氣體壓力。
    為了更方便地計(jì)算流過氣體的多少，工程中還定義氣體的壓力與其體積的乘積為氣體量G(Pa·m³=J)，即G=pV；單位時(shí)間內(nèi)流過指定橫截面的氣體量為流量qG=dG/dt(Pa·m³／s=J/s)；在任一指定截面上，氣體流量、壓力和抽速間的關(guān)系為
            qG = p·q_v         (29)
    在穩(wěn)定流動(dòng)狀態(tài)下，即管道各截面處的氣體壓力不隨時(shí)間變化時(shí)，根據(jù)質(zhì)量守恒原理，真空系統(tǒng)任一截面上的氣體質(zhì)量流率q_m相等，若整個(gè)系統(tǒng)中各處溫度相同，則化為流量連續(xù)方程，即各截面上的氣體流量相等。
            qG = p₁q_v1 =p₂q_v2 =p_iq_vi         (30)
    如果氣體流動(dòng)過程中溫度有變化，例如流過冷卻器后溫度由T₁降至T₂，則對應(yīng)的流量qG₁／T₁=qG₂／T₂
    實(shí)驗(yàn)說明，氣體流過一段真空管道的流量qG與管道兩端的壓力差p₁-p₂成正比，即有
            qG=C·(p₁-p₂)         (31)
式中的比例系數(shù)C具有體積流率的量綱（m³/s)，它所反映的是管道允許流過氣體能力的大小，定義為該段管道的流導(dǎo)。 
    流導(dǎo)是各種真空系統(tǒng)元件（管道、閥們、冷阱、孔口等）的主要技術(shù)指標(biāo)之一，直接反映該元件對氣體流動(dòng)的阻礙程度，是真空系統(tǒng)計(jì)算中需要首先計(jì)算的參數(shù)。元件的流導(dǎo)與所流過氣體的流動(dòng)狀態(tài)有關(guān)，氣體流動(dòng)為粘滯流時(shí)，流導(dǎo)值與元件的幾何結(jié)構(gòu)尺寸及流過氣體的平均壓力有關(guān)；為分子流時(shí)，流導(dǎo)僅與幾何結(jié)構(gòu)尺寸有關(guān)。
    根據(jù)組成真空系統(tǒng)的需要，有時(shí)將幾個(gè)真空元件(如管道)的入口和出口分別聯(lián)接在一起，稱為元件的并聯(lián)，并聯(lián)后元件的總流導(dǎo)等于各分支流導(dǎo)之和
                C=C₁+C₂+…+C_n    (32)
有時(shí)將幾個(gè)元件首尾順序聯(lián)接，稱為元件的串聯(lián)，串聯(lián)后元件的總流導(dǎo)的倒數(shù)等于各元件流導(dǎo)的倒數(shù)之和
                1/C = 1/C₁+1/C₂+…+1/C_n    (33)
    把一個(gè)被抽容器的出口和一臺真空泵的入口，用總流導(dǎo)為C的真空管路聯(lián)接起來，若真空泵在其入口處的抽速為S，則該真空系統(tǒng)在被抽容器出口處所能產(chǎn)生的有效抽速為S，則該真空系統(tǒng)在被抽容器出口處所能產(chǎn)生的有效抽速Se為
                Se = (S·C)/(S+C)    (34)
    此式習(xí)慣上稱為真空技術(shù)基本方程。從中可以看出，在被抽容器出口產(chǎn)生的有效抽速Se，比泵口抽速S和管路流導(dǎo)C都要��；若要獲得較大的Se，應(yīng)該合理地搭配S和C，單獨(dú)增大其中的一個(gè)，不能獲得理想的結(jié)果。

• 理想氣體定律
• 氣體分子運(yùn)動(dòng)論基礎(chǔ)
• 蒸汽(又稱可凝性氣體)
• 氣體的吸附現(xiàn)象
• 氣體的流動(dòng)