本節(jié)主要介紹運(yùn)動(dòng)以外的物理量,比如光,電磁波,電力等,從大氣中導(dǎo)入真空或從真空中導(dǎo)入大氣的方法。因?yàn)橐�通過大氣和真空之間的窗口,因此需要在窗口安裝相應(yīng)的部品,我們稱之為導(dǎo)入器。根據(jù)作用不同,又可分為光導(dǎo)入器,電力導(dǎo)入器等。

１.光導(dǎo)入器

    能使光通過且能封閉真空的材料被稱為光導(dǎo)入器�？紤]到大氣壓和真空一側(cè)的差壓,1kg/cm2的壓力會產(chǎn)生在光導(dǎo)入器上,如果使用普通玻璃,當(dāng)面積較大時(shí),可能會發(fā)生玻璃破損的事故�，F(xiàn)在用于超高真空設(shè)備的光導(dǎo)入器所用的材料有硬質(zhì)玻璃,藍(lán)寶石,石英等。

    這些材料對于光的透過率如圖1所示。特別是要保證紫外線的透過,而且要檢測真空內(nèi)發(fā)出的光的情況下,主要應(yīng)用藍(lán)寶石窗。

２.電力導(dǎo)入器

    從大氣壓環(huán)境中向真空腔體內(nèi)導(dǎo)入電力或微小信號所用的導(dǎo)入器,也被稱為導(dǎo)入端子。絕緣部分用Al2O3,導(dǎo)體部分用銅的導(dǎo)入端子被廣泛使用。大電流導(dǎo)入時(shí)可達(dá)400A,微小信號時(shí)可用BNC同軸端子,多針形端子可含有48個(gè)接頭。

    導(dǎo)入端子的弱點(diǎn)在于機(jī)械強(qiáng)度較弱。下圖是超高真空用的代表性導(dǎo)入端子。

    多節(jié)點(diǎn)電流導(dǎo)入端子。大電流導(dǎo)入端子,高頻電流導(dǎo)入端子。