真空混合漏孔檢漏方法討論
夾層式混合漏孔一般來源于工藝和結(jié)構(gòu)不合理、材料有缺陷等因素,難以修復(fù)。混合漏孔的長(zhǎng)反應(yīng)時(shí)間雖已有報(bào)導(dǎo) ,但對(duì)漏孔中示漏氣體流動(dòng)的延遲時(shí)間和保持時(shí)間還未引起注視,漏孔的長(zhǎng)反應(yīng)時(shí)間,僅造成示漏氣體濃度增長(zhǎng)緩慢,如果檢漏儀靈敏度足夠高,理論上仍能快速探得漏孔的存在,僅漏率值難以計(jì)算而已。例如,本實(shí)驗(yàn)中,1×10-3PaL/s的大漏孔用氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)能測(cè)得,只因這種漏孔一般都存在延遲特性,在該延遲時(shí)間內(nèi),就不會(huì)出現(xiàn)示漏氣體,也就無法探得漏孔的存在,這是常規(guī)法檢漏混合漏孔失敗的原因。
在用質(zhì)譜儀作混合氣體配比實(shí)驗(yàn)時(shí),兩個(gè)1L玻璃瓶分別裝有壓強(qiáng)為數(shù)千帕的兩種氣體,經(jīng)Φ6mm的玻管進(jìn)行混合時(shí),需經(jīng)3～4 h 后,質(zhì)譜圖上兩種氣體的峰高比才穩(wěn)定,一般配氣后存放12h才使用。這種依靠氣體擴(kuò)散而非高真空下分子自由運(yùn)動(dòng)的混合過程是緩慢的,這個(gè)實(shí)驗(yàn)與現(xiàn)研究的混合漏孔的物理過程是相似的。
對(duì)漏孔的延時(shí)特性研究,在實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)里,還有幾個(gè)沒能解釋的現(xiàn)象,一是圖6上表示的M=40的Ar峰下降速率遠(yuǎn)大于M=29代表的空氣上升，第二個(gè)問題是:如果延遲時(shí)間以5 h 計(jì)算,則漏孔的原貯存的總空氣量應(yīng)有0125 cm3 (在1atm 時(shí)) 。很顯然,檢漏的傳感器不太可能有0125cm3的漏孔體積。上述矛盾可能是充入的示漏氣體因塑料袋包扎不嚴(yán)混入空氣,也可能存在其它漏孔,還有待進(jìn)一步研究確認(rèn)。
混合漏孔因示漏氣體濃度的響應(yīng)速度極慢,且存在延時(shí)效應(yīng),故用常規(guī)的示漏氣體噴吹,無法探得漏孔的存在和測(cè)得漏率值的大小。
真空元器件生產(chǎn)中僅用常規(guī)質(zhì)譜檢漏法,有可能漏檢混合漏孔。建議輔用質(zhì)譜計(jì)對(duì)比法解決產(chǎn)品的快速測(cè)定要求。質(zhì)譜計(jì)對(duì)比法即把被檢元件用隔離閥與質(zhì)譜計(jì)真空系統(tǒng)連接,觀察隔離閥啟閉后空氣質(zhì)譜峰的變化確定漏孔的存在。也可采用另一種輔助方法,即把成批元件存放于真空室內(nèi),先抽氣,后充示漏氣體He,讓漏孔內(nèi)有充分時(shí)間抽除原存貯空氣和再存貯示漏氣體,然后逐一取出,在保持期內(nèi)測(cè)定He 氣濃度,由于有足夠長(zhǎng)保持時(shí)間,不會(huì)因示漏氣全衰減而檢漏失敗。
混合漏孔容易在復(fù)雜的真空密封結(jié)構(gòu)體內(nèi)出現(xiàn),掌握了它的超長(zhǎng)反應(yīng)時(shí)間和伴隨的延遲和保持特性,會(huì)有利于探得這種漏孔的存在,從而提高了檢漏工作的可信度。上述意見,供檢漏工作者參考和討論。
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