校準(zhǔn)氣體漏率的正壓漏孔校準(zhǔn)裝置結(jié)構(gòu)組成

2009-07-08 張滌新蘭州物理研究所

　　在航天產(chǎn)品研制和生產(chǎn)中，正壓檢漏技術(shù)已被廣泛地采用，最常用的是皂泡法和水泡法。由于對(duì)正壓檢漏的可靠性提出了更高的要求，需采用質(zhì)譜檢漏技術(shù)，因此要用正壓漏孔對(duì)質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定，從而提出了正壓漏孔的校準(zhǔn)問(wèn)題。

　　國(guó)內(nèi)外對(duì)真空漏孔（漏孔的一端為大氣壓，另一端為真空）的校準(zhǔn)技術(shù)研究得比較成熟，已經(jīng)研制了多種測(cè)量原理的校準(zhǔn)裝置，并在不同校準(zhǔn)裝置間進(jìn)行了比對(duì)研究。對(duì)于正壓漏孔的校準(zhǔn)，因?yàn)槭艿秸龎簷z漏定量性差和校準(zhǔn)條件比較苛刻的限制，研究工作只是剛剛開始。

　　通過(guò)對(duì)各種真空漏孔和正壓漏孔校準(zhǔn)方法的比較和分析，提出了正壓漏孔的校準(zhǔn)方法，并利用已建的氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置和現(xiàn)有的儀器設(shè)備，對(duì)正壓漏孔的校準(zhǔn)方法進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。在大量理論分析和實(shí)驗(yàn)研究的基礎(chǔ)上，研制了正壓漏孔校準(zhǔn)裝置。

正壓漏孔的校準(zhǔn)裝置

　　正壓漏孔是在給定溫度和入口壓力的條件下，正壓漏孔校準(zhǔn)裝置由定容法校準(zhǔn)系統(tǒng)和定量氣體動(dòng)態(tài)比較法校準(zhǔn)系統(tǒng)兩部分組成，如圖1 所示。

　　圖中，1，2 為氣瓶；3,4,7,11,15,19,21為截上閥；5為待校漏孔；6，8，13為絕對(duì)式電容規(guī)；9為三通閥；10為標(biāo)準(zhǔn)容積；12為定容室I;14為差壓式電容規(guī)；16為針閥，12為定容室Ⅰ"；14為差壓式電容規(guī)；16為針閥，17為定容室Ⅱ；18，28為插板閥；20為小孔；22,26為冷陰極規(guī)，23為四極質(zhì)譜計(jì)；24為質(zhì)譜分析室；25為限流孔；27為抽氣室；29為濺射離子泵；30，31，33為分子泵；32，34 為機(jī)械泵。