漏氣也叫實(shí)漏，是氣體通過(guò)系統(tǒng)上的漏孔或間隙從高壓側(cè)流到低壓側(cè)的現(xiàn)象。

    虛漏，是相對(duì)實(shí)漏而言的一種物理現(xiàn)象。這種現(xiàn)象是由于材料放氣、解吸、凝結(jié)氣體的再蒸發(fā)、氣體通過(guò)器壁的滲透及系統(tǒng)內(nèi)死空間中氣體的流出等原因引起真空系統(tǒng)中氣體壓力升高的現(xiàn)象。

    氣密性是表征真空系統(tǒng)器壁防止氣體滲透的性能，它包括通過(guò)漏孔(或間隙)的漏氣和材質(zhì)的滲氣。

    最小可檢漏率是指某種檢漏方法能夠檢測(cè)出的漏率的最小值。

    最佳靈敏度是指檢漏儀器或檢漏方法在最佳條件下所能檢測(cè)出的最小漏率。對(duì)于檢漏儀器來(lái)講，最佳靈敏度又稱(chēng)作儀器靈敏度。

    檢漏靈敏度是指在具體條件下，某種檢漏方法所能檢測(cè)出的最小漏率。檢漏靈敏度又稱(chēng)作有效靈敏度。

    反應(yīng)時(shí)間，即從檢漏方法開(kāi)始實(shí)施(如開(kāi)始噴吹示漏氣體)到指示方法(如儀表)做出反應(yīng)的時(shí)間。

    消除時(shí)間，即從檢漏方法停止(如停止噴吹且開(kāi)始抽出示漏氣體)到指示方法的指示消失的時(shí)間。

    漏率，即單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)漏孔(包括間隙)的氣體量。