電真空器件的氦檢漏前的準備工作
1、真空檢漏時的環(huán)境要求
最佳操作溫度：15~30 ℃，濕度≤70 RH。檢漏環(huán)境要清潔且通風良好(消除空氣中氦含量，氦濃度太高，儀器輸出氦信號不穩(wěn)定)，氣流平穩(wěn)，不得有強電磁干擾和強烈振動，現(xiàn)場需備有溫濕度和大氣壓力監(jiān)測裝置。
2、抽氣口檢漏臺
根據(jù)電真空器件結構特點和承載要求，設計加工合理的檢漏臺(見圖2)，與檢漏儀自帶檢漏口密封連接。圖3 為所設計檢漏臺的三維圖。被檢工件可借助密封模具置于檢漏臺3 上，檢漏口1用橡膠塞密封，通過檢漏口2 抽真空后即可檢漏。對于重量超載或少數(shù)特殊結構不能置于檢漏臺上的零部件，可通過檢漏口1 進行氣密性檢測。即采用真空橡膠管連接檢漏口1 與被檢件，檢漏口2用盲板或橡膠塞密封，檢漏儀抽真空后可對被檢工件進行檢漏。所設計檢漏臺承重≤30 Kg，可使具有不同尺寸的被檢件配合使用不同口徑、不同形狀的密封模具進行抽真空密封，從而實現(xiàn)真空氣密性檢測。
圖2 氦質譜檢漏儀結構簡圖
1，2.檢漏口；3.檢漏臺；4.三通
圖3 檢漏平臺三維圖
3、儀器校準和靈敏度測試
GB/T13979 要求對儀器進行校準，校準漏孔每隔一定的周期需送到計量機構重新標定，送檢周期不超過2 年。ASM192T2 氦質譜檢漏儀出廠缺省值的內(nèi)部自動校準設為ON，因此，該檢漏儀開機時就進行自動校準，如校準失敗，則需檢查故障原因，排除故障。如果在使用中發(fā)現(xiàn)檢漏儀反應能力欠佳也需及時進行校準，但當復校最小可檢漏率增大到最小可檢漏率的65%以上，或正常操作調(diào)整后指示值仍低于校準漏孔的標稱值時，說明檢漏儀的靈敏度下降。漏率的讀數(shù)偏低，檢漏儀應進行清洗、修理或重新標定。
目前，氦質譜檢漏儀常用的參考漏孔是薄膜滲氦型漏孔，一般用10-8 Pa·m3/s 量級標準漏孔來校準10-10 Pa·m3/s 低量級的漏率。如果用寬范圍內(nèi)不同量級的校準漏孔與檢測到相同量級的漏率來進行校準，檢漏的定量結果更加可靠[5]。但是，固定漏率的滲氦型漏孔只能對儀器本身進行靈敏度校準，即反映一種儀器、方法或一套系統(tǒng)在特定條件下所能檢測到的最小漏率，也就是檢漏靈敏度。而實際檢漏中所能達到的檢漏水平不僅僅依賴于儀器本身，真空技術網(wǎng)(http://www.lalazzu.cn/)認為還與被檢系統(tǒng)以及檢漏方法有著很大的關系。
例如，當采用分流泵或累積法時，最小可檢漏率就會隨之變高或變低。因此，有必要區(qū)分開檢漏儀本身的靈敏度校準和檢漏靈敏度校準。檢漏靈敏度qmin 是指氦質譜檢漏儀和檢漏系統(tǒng)在具體的工作條件下，純示漏氣體通過漏孔時氦質譜檢漏儀所能檢出的最小漏率。在進行漏率測試時，采用標準漏孔標定系統(tǒng)檢漏靈敏度。檢漏靈敏度測試qmin 可通過如下公式計算：
式中：Q0 為標準漏孔的漏率；In 為檢漏儀噪聲；I1 為檢漏儀對標準漏孔輸出的指示值；I0 為標準漏孔未噴氦時，檢漏儀的本底值。通過實際測試，檢漏設備的檢漏靈敏度qmin=1×10-12 Pa·m3/s，優(yōu)于電真空器件檢漏靈敏度的設計指標5×10-9 Pa·m3/s。
4、被檢件與檢漏模具
待檢的零部件，在檢漏之前要去除外表面的油垢、污物，并進行高溫除氣處理，目的是使漏孔不被污物、油、有機溶劑等堵塞，檢漏儀的泵和管道不被污染，避免工件出氣影響檢漏結果。檢漏模具要防止變形且保持干燥清潔。
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1、電真空器件的氣密性檢測
http://www.lalazzu.cn/leakhunting/095446.html
2、電真空器件的氦檢漏前的準備工作
http://www.lalazzu.cn/leakhunting/095447.html
3、電真空器件的常用檢漏方法
http://www.lalazzu.cn/leakhunting/095448.html
4、電真空器件的氣密性檢測時的注意事項
