各種真空系統(tǒng)可容許的漏氣范圍

2008-11-02 鬼馬 真空技術(shù)網(wǎng)整理

    嚴(yán)格地講,任何設(shè)備都有漏氣現(xiàn)象存在,問題在于漏氣量對真空設(shè)備及使用目的是否有影響。漏氣發(fā)生的影響在于可能影響到達(dá)的壓力或?qū)嶒炆a(chǎn)的純度等。如果不能造成這種不良影響,則在某種范圍內(nèi)可以容許有一定的漏氣。一般而言,如下表所示的漏氣量可以容許。

    容許漏氣量=設(shè)備最低壓力 x 排氣速度 x 1/(10-100)

真空設(shè)備

容許漏氣量（Ｐａｍ３／ｓ）

簡單的減壓設(shè)備

１０～１０２

減壓干燥設(shè)備

１～１０

簡單的蒸發(fā)成膜設(shè)備

１０-７～１０-６

高級成膜設(shè)備

１０-９～１０