在真空系統(tǒng)初步裝置完成以后,就要檢查是否漏氣,漏氣可能發(fā)生在接口部位處,也可能發(fā)生在管道或者真空泵本身。一般講, 系統(tǒng)在較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)達(dá)不到預(yù)定的真空度的時(shí)候,就要進(jìn)行檢漏。玻璃真空系統(tǒng)的檢漏,常用高頻火花檢漏器來(lái)檢查,其結(jié)構(gòu)如5 所示。T1 為電源的升壓變壓器,輸出3000 V 高壓,使電容器C1、C2充電,當(dāng)電容器兩端電壓升到足夠高時(shí),就通過(guò)火花間隙G放電, 產(chǎn)生高頻高壓使附近空氣電離, 而激起很強(qiáng)的放電現(xiàn)象。

       在檢查漏氣時(shí), 先接通電源, 讓檢漏端接在玻璃壁附近(離開(kāi)約0.5～1cm)來(lái)回移動(dòng), 當(dāng)檢漏端接近不漏氣的部位時(shí),檢漏端產(chǎn)生的火花束在玻璃表面上不規(guī)則的跳動(dòng), 如圖6 所示, 當(dāng)檢漏端接近漏氣部位時(shí), 則分散的火花立即變?yōu)橐皇�很�?xì)很亮的火花, 對(duì)準(zhǔn)漏氣處向系統(tǒng)里鉆。

      在檢漏的時(shí)候應(yīng)該注意不要把檢漏端在一個(gè)地點(diǎn)停留過(guò)久, 否則容易造成新漏洞。有時(shí)也可用涂擦酒精、汽油的方法檢查漏氣部位, 當(dāng)涂抹酒精、汽油的部位漏氣時(shí),電離計(jì)的指針會(huì)立即偏轉(zhuǎn),此時(shí)若用高頻火花檢漏計(jì)檢查, 系統(tǒng)內(nèi)會(huì)出現(xiàn)淡藍(lán)色的輝光。當(dāng)知道漏氣的部位后, 有火焰封接或用真空封蠟封閉即可。

       圖7為供學(xué)生實(shí)驗(yàn)用的真空系統(tǒng)裝置圖,在玻璃真空閥K3端為一段封閉的小管,管端L處有一微小的漏氣孔, 打開(kāi)K3 使小孔漏氣, 可供學(xué)生觀察用高頻火花檢漏器檢查漏氣時(shí)的現(xiàn)象。E為儲(chǔ)存器,它有一定的容積,當(dāng)偶然停電時(shí)來(lái)不及打開(kāi)真空閥K2 使機(jī)械泵與大氣相通時(shí), 它可防止機(jī)械泵油被吸入真空系統(tǒng)。

       ① 真空檢漏:一個(gè)玻璃真空系統(tǒng), 如果經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間抽氣, 仍達(dá)不到預(yù)期的真空度, 在排除泵的因素后, 可能的原因有: 蒸氣源: 水蒸氣、機(jī)械泵油和擴(kuò)散泵油的蒸氣、高真空的密封油脂和封蠟的蒸氣及系統(tǒng)內(nèi)其他污染物,形成蒸氣源。

      ② 表面放氣:系統(tǒng)的器壁、系統(tǒng)內(nèi)金屬元件表面吸附著大量氣體分子, 在低壓下向系統(tǒng)內(nèi)釋放。

       ③ 真漏:真空系統(tǒng)連接部位安裝不良, 焊接處有漏孔或漏隙及閥門處密封不嚴(yán)所造成。對(duì)于蒸氣源和表面放氣, 首先在設(shè)計(jì)系統(tǒng)時(shí)要選擇合適的材料和結(jié)構(gòu)。盡量選擇蒸氣壓低的真空泵油, 其次是搞好真空清潔,使系統(tǒng)表面清潔、干燥,然后在真空條件下烘烤去氣, 但材料吸附的氣體不可能完全去除,在壓強(qiáng)較低時(shí),表面放氣還是存在.實(shí)驗(yàn)中的主要問(wèn)題是真漏,這正是檢漏所要解決的問(wèn)題。檢漏的首要問(wèn)題是要判斷系統(tǒng)是否漏氣,其次是確定漏氣率的大小,以便確定它是否在允許范圍, 最后是用合適的儀器找出漏孔的確切位置, 用合適的密封材料堵漏。

      ④ 靜態(tài)升壓法:在高真空系統(tǒng), 漏孔或漏隙用肉眼一般是看不出來(lái)的, 我們通常采用靜態(tài)升壓法,即把系統(tǒng)抽到一定壓強(qiáng)后,關(guān)閉閥門,將被檢部分與泵隔開(kāi),由于漏氣和表面放氣, 被檢部分的壓強(qiáng)將隨時(shí)間而上升, 用電離真空計(jì)或復(fù)合真空計(jì)和秒表, 測(cè)出p-t關(guān)系曲線,由曲線形狀,我們可以判斷系統(tǒng)是否漏氣。