由全球領先的高精真空設備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應增值服務供應商Edwards集團公司研發(fā)的Spectra-GTM3000尾氣處理系統(tǒng)，由于其減少發(fā)光二極管(LED)制造污染和成本的重要作用，贏得《工廠工程》雜志2012年“環(huán)境健康”類的“年度最佳產(chǎn)品”獎。

　　“我們很高興贏得這一聲名顯赫的大獎，”Edwards LED部門全球市場經(jīng)理Shao Wei說，“ Spectra-G 3000讓全球LED制造商減少其業(yè)務對環(huán)境的影響，同時降低他們的運營成本。非常高興看到Edwards以環(huán)境責任奉獻最新技術的承諾已得到認可。”

　　中國的“十二五計劃”強調(diào)節(jié)能環(huán)保，它對于企業(yè)發(fā)展節(jié)能科技有一定的優(yōu)惠待遇，同時對于碳排放，水質(zhì)中的氮化物污染和空氣中的氮氧化物污染都設定了硬性指標。

　　將節(jié)能的LED燈用于普通照明和特殊應用(例如電腦和電視的平板顯示器背光(FPD))預計將對能源消耗和碳排放強度(間接)的降低帶來重大貢獻。但是，大規(guī)模LED制造可能產(chǎn)生氮化物和氮氧化物排放，這些排放物必須進行處理。

　　Edwards的Spectra-G 3000系統(tǒng)是一種先進的尾氣處理系統(tǒng)，為處理LED制造采用的有機金屬化合物氣相沉積(MOCVD)工藝中出現(xiàn)的大流量氨氣和氫氣而專門設計。它利用燃燒工藝將這些氣體轉(zhuǎn)化為無害的氮氣和水蒸汽。由于該工藝不使用外部的水，完全消除了供水的氮化物污染。燃燒過程的精確控制使氮氧化物的排放量大大低于許可的水平。氫氣的燃燒消除了制造設施下游設備的火災或爆炸危險。

　　由于來自MOCVD工藝的氨氣和氫氣的燃燒供應了大部分能量，這使得該系統(tǒng)顯著減少了總體營運成本。同時也極大地減少了燃料成本和烴燃料的碳排放。由于燃燒后我們使用空氣而不是水進行冷卻，因此空氣可以進行熱交換去收集并回收利用熱量，這進一步減少了制造設施的能耗和碳足跡。最后，該系統(tǒng)的耐用設計和燃燒工藝的簡潔性最大程度減少了設備維護成本。