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氣體捕集真空泵

推薦集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀

本文介紹了國(guó)內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對(duì)比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)。闡述了國(guó)產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。

集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀

本文介紹了國(guó)內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對(duì)比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)。闡述了國(guó)產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。
低溫冷凝泵的抽氣特性

本文介紹了低溫冷凝泵的理論抽速、低溫冷凝泵的實(shí)際抽速、低溫冷凝泵的極限壓強(qiáng)、低溫泵的降溫時(shí)間、低溫泵的工作壽命等關(guān)于低溫泵的抽氣特性計(jì)算公式。
低溫泵的抽氣原理與分類與結(jié)構(gòu)

利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣體分子發(fā)生吸附而達(dá)到抽氣作用的泵叫低溫吸附泵。根據(jù)所用吸附劑不同，又可分為三種類型：非金屬吸附劑泵、金屬吸附劑泵、氣體霜。
濺射離子泵的抽氣特性

蔀射離子泵的抽氣特性如濺射離子泵的極限壓強(qiáng)、濺射離子泵的抽速、濺射離子泵在抽除惰性氣體氬不穩(wěn)定性、濺射離子泵對(duì)有機(jī)蒸氣污染敏感等等。
濺射離子泵的結(jié)構(gòu)及其抽氣機(jī)理

濺射離子泵又稱潘寧泵，它是靠潘寧放電維持抽氣的一種無(wú)油清潔超高真空泵。是目前抽惰性氣體較好的真空獲得設(shè)備。濺射離子泵主要由陽(yáng)極、陰極、磁場(chǎng)和電源四大部分組成。
鈦升華泵的極限壓強(qiáng)與抽速

鈦升華泵的極限壓強(qiáng)：可達(dá)10-10Pa。鈦升華泵的抽速較大，抽速可以計(jì)算。
鈦升華泵的主要幾種結(jié)構(gòu)

鈦升華泵的結(jié)構(gòu)大致可分為三部分：吸氣面、熱絲(或升華器)和控制器。本文主要講敘了升華器的幾種類型結(jié)構(gòu)。
鈦升華泵的工作原理

利用加熱的方法升華鈦并使其沉積在一個(gè)冷卻的表面上，對(duì)氣體進(jìn)行薄膜吸附的抽氣裝置，稱為鈦升華泵。
分子篩吸附泵的抽氣特性

分子篩吸附泵的極限壓強(qiáng)：一般為10-2～10-3Pa，吸附泵的抽速計(jì)算公式，由此可以看出分子篩吸附泵的抽氣特性。
分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)

分子篩吸附泵是利用分子篩在低溫下能大量吸氣、在高溫下又能將吸附的氣體釋放出來(lái)的性質(zhì)而設(shè)計(jì)的一種真空泵。分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)類型：按冷卻方式不同，可分為內(nèi)冷式和外冷式。
分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)及其抽氣原理

分子篩是一種人工合成的沸石，分子篩對(duì)氣體的吸附是物理吸附，過(guò)程是可逆的。低溫下吸附的氣體在溫度回升時(shí)將如數(shù)地釋放出來(lái)。
氣體捕集式真空泵的幾種類型

氣體捕集式真空泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵，可分吸附泵、吸氣劑泵、吸氣劑離子泵、低溫泵幾種類型。
鈦泵和濺射離子泵的工作原理

鈦泵是真空泵的一種, 但它不同于普通的壓縮型泵。鈦泵沒(méi)有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu), 也不使用真空泵油,它采用俘獲氣體分子的方式除氣, 能得到清潔的高真空。
冷阱的基本結(jié)構(gòu)

冷阱的基本類型屬于中心帶障板的冷阱, 其優(yōu)點(diǎn)是捕油性能好, 既能擋住一次束流, 又能防止油分子的爬移, 在內(nèi)膽和上法蘭之間的薄壁筒, 作為表面油分子的爬移壘。
低溫泵的原理與結(jié)構(gòu)

低溫泵的抽氣原理主要是利用低溫表面抽除真空容器中的氣體來(lái)獲得和保持真空。本文圖文詳解低溫泵的原理與結(jié)構(gòu)。
低溫泵測(cè)試系統(tǒng)的搭建

低溫泵的測(cè)試系統(tǒng)原理圖如圖所示：系統(tǒng)包括低溫泵、干泵、測(cè)試容器、真空規(guī)、氣體流量計(jì)和閥門(mén)等。
CSNS離子泵性能測(cè)試

本文詳細(xì)介紹了離子泵性能測(cè)試方法。經(jīng)過(guò)測(cè)試的離子泵，安裝到加速器上均能正常工作，動(dòng)態(tài)真空滿足設(shè)計(jì)指標(biāo)。
低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用實(shí)例

本文以實(shí)例介紹了低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用；重點(diǎn)介紹了低溫泵真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)思路，真空系統(tǒng)的主要配置和注意事項(xiàng)，低溫泵的選型計(jì)算，并用圖示方法詳細(xì)介紹了低溫泵系統(tǒng)的安裝、使用和維護(hù)等環(huán)節(jié)。
HL-2M內(nèi)置式低溫泵基于DSMC方法的抽速計(jì)算

HL-2M內(nèi)置式低溫真空泵的復(fù)雜性和重要性要求在設(shè)計(jì)階段就的對(duì)低溫真空泵的抽氣性能進(jìn)行評(píng)估，甚至是定量的計(jì)算。作為一個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng)，HL-2M內(nèi)部空間留給大型低溫泵的空間是極其有限的；并且從制造和加工的成本考慮，
實(shí)驗(yàn)低溫冷板抽氣裝置性能測(cè)試及分析

本文根據(jù)100 MeV 串列加速器升級(jí)工程項(xiàng)目實(shí)際使用的條件和對(duì)抽速的要求，對(duì)實(shí)驗(yàn)低溫冷板抽氣裝置的低溫抽氣性能進(jìn)行了測(cè)試。