1　冷凝泵的再生

1.1　再生時(shí)間

         ① 根據(jù)運(yùn)轉(zhuǎn)周期, 定期進(jìn)行再生。

         ② 制冷能力降低時(shí)(溫度達(dá)不到20K 以下; 真空度差), 進(jìn)行再生。

1.2　再生種類

        ① 通常再生: 3～8h。

        ② 急速再生: 當(dāng)泵內(nèi)含有毒性、腐蝕性、可燃性氣體以及大量的O2、水時(shí),泵停止后,進(jìn)行短時(shí)間再生。

1.3　急速再生的實(shí)施

         ① 關(guān)閉高閥, 將加熱N2或室溫N2氣由Purge Gas口導(dǎo)入泵腔, 被稀釋的毒性氣體就會(huì)通過排氣閥放出。這時(shí), 冷板的溫度若達(dá)不到77K以上, 泵室的壓力就上不去, 氣體也就無法釋放出來, 而又會(huì)被凝縮在冷頭上。

       用N 2 進(jìn)行沖洗時(shí), 最好采用專用的放氣管道來排出N2氣。不得已要從安全閥釋放時(shí), 由于易產(chǎn)生真空泄露, 所以, 有必要對安全閥進(jìn)行清洗。

       ② 用加熱毯進(jìn)行加熱。但要注意加熱時(shí), 溫度不能超過70℃。否則, 會(huì)損壞冷凝泵。

2　冷凝泵點(diǎn)檢

      ① 冷凍機(jī)運(yùn)行是否平穩(wěn)。

      ② 馬達(dá)旋轉(zhuǎn)是否為順時(shí)針方向。

      ③ 溫度、真空度是否正常。

      ④ 泵體外側(cè)是否有冷凝水存在, 否則, 需進(jìn)行再生。

      ⑤ H2蒸汽壓溫度計(jì)在室溫狀態(tài)(即暴露在大氣中) 的值是否在4.7～5.7K 間。否則, 溫度計(jì)可能有問題。

3　壓縮機(jī)點(diǎn)檢

       ① He氣壓、水流量、水溫、油位是否正常。

       ② 壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。

4　故障查找

4.1　真空不良可能產(chǎn)生的原因。

        ① 真空安全閥泄露。

        ② 冷板安裝不正確、劣化、再生不良。

       ③ 前級泵抽氣時(shí)間過長, 使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。

       ④ 制冷溫度達(dá)不到20K以下: a1冷凍機(jī)制冷能力劣化; b1壓縮機(jī)壓縮能力降低(很少發(fā)生) ;c1He氣壓力過低; d1He 氣充填壓力過高。

       ⑤ 若仍然不行,則可能是冷凍機(jī)的相位角有偏差。這時(shí),需按照以下步驟重新進(jìn)行調(diào)整(參照圖4): a1首先, 使活塞連桿處于頂部死區(qū)Ê 的位置(偏心輪最高點(diǎn)) ; b1然后, 把偏心輪逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)30°(É 的位置) ,使低壓閥閉合,高壓閥處于閉合/開啟臨界狀態(tài)。此時(shí), 臂式閥桿處于懸空狀態(tài), 即, 沒有接觸閥芯。用手伸進(jìn)視鏡窗孔中轉(zhuǎn)動(dòng)二個(gè)大軸承, 應(yīng)感到很輕; c1若仍然感到很重, 則可擰掉二側(cè)的堵頭, 通過調(diào)整臂式閥桿的調(diào)整螺釘來加以修正。使低壓閥閉合, 高壓閥處于閉合ö開啟臨界狀態(tài)(靠近高壓管的一側(cè)為高壓閥。即, 第二個(gè)臂桿)。

4. 2　低溫泵動(dòng)作不良可能產(chǎn)生的原因,

        ① 馬達(dá)沒有運(yùn)轉(zhuǎn)(溫度仍為室溫)。a1 由壓縮機(jī)來的電源無電; b1 機(jī)械性能不良(曲軸歪曲或折短、軸承損壞) , 尤其是老型號(hào)的泵; c1 雜質(zhì)進(jìn)入馬達(dá)內(nèi), 卡住馬達(dá); d1水分進(jìn)入膨脹室, 使活塞桿膨脹卡住; e1 外加加熱器急速再生溫度超過70℃, 使活塞桿膨脹卡住(當(dāng)然, 溫度恢復(fù)正常后, 故障也會(huì)隨之消失)。

       ② 馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)異常。a1 由壓縮機(jī)來的電源電壓不穩(wěn); b1 水進(jìn)入泵內(nèi)(幾分鐘就會(huì)出現(xiàn)聲音異常) ; 處理: 分解冷凝泵; c1 空氣進(jìn)入泵內(nèi)(溫度達(dá)到20K 時(shí)才會(huì)出現(xiàn)聲音異常) ; 處理: 用He 氣置換。注: 置換前, 應(yīng)先切斷電源, 再斷開高壓管(對一臺(tái)壓縮機(jī)帶多臺(tái)冷凝泵而言)。在冷凝泵恢復(fù)常溫過程中, 要注意壓力變化, 若壓力超過250Pa, 就要降壓, 使它一直保持在250Pa, 但不能太低。d1 機(jī)械性能不良(冷凍機(jī)壽命已到)。

       ③ He泄漏可能產(chǎn)生的原因: a1自密封接頭密封不好(最常見) , 可用Snoop液體檢漏; b1壓縮機(jī)、連接軟管、冷凝泵有泄漏。

檢查方法:

        a1 確認(rèn)整個(gè)系統(tǒng)漏氣量, 比如, 每小時(shí)、每天漏率。然后再將壓縮機(jī)與冷凝泵分開, 先看壓縮機(jī)泄漏是多少, 然后與整個(gè)系統(tǒng)漏率相比, 確認(rèn)是哪部分漏; b1 用水泡法或Snoop 液體檢查軟管是否漏氣;c1 若前二項(xiàng)檢查沒有問題, 則是冷凝泵泄漏

5　冷凝泵交換

       ① 首先, 使泵恢復(fù)常溫。

      ② 排出毒氣, 在前級泵抽的過程中用N 2 氣沖洗。

      ③ 在冷凝泵與大氣連通后, 斷開壓縮機(jī)與冷凝泵連接的電、氣接頭。

       注: a1 記住He 高、低壓管的相互位置。b1 在壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)情況下?lián)Q泵時(shí), 要先斷高壓后斷低壓。否則, 高壓不能迅速釋放, 馬達(dá)電源會(huì)自動(dòng)切斷, 并使真空安全閥打開。

       ④ 拆、換泵。

      注: 在有R1F 電源的設(shè)備中使用的冷凝泵中,其接口法蘭中的密封圈一般不使用真空脂。否則, 易打火燒焦密封圈, 引起漏氣。

      ⑤ 重新連接冷凝泵的電、氣接頭。

       注: a1先連低壓側(cè)接頭, 再連高壓側(cè)接頭。b1盡量不要拆掉壓縮機(jī)一側(cè)的軟管接頭。以避免高、低壓管混用, 使沉積在低壓管中的雜質(zhì)通過高壓接頭跑到冷凍機(jī)中(因?yàn)? 低壓管是整個(gè)大循環(huán)中的最后一環(huán),雜質(zhì)容易沉積于此處)。c1不能把壓縮機(jī)出來的高壓ö進(jìn)氣接頭錯(cuò)接在冷凝泵的低壓ö出氣接頭中。否則, 不制冷。甚至, 會(huì)損壞冷凝泵。