渦旋概念對(duì)于真空應(yīng)用真正有吸引力的特性是:

① 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工作可靠、零部件數(shù)量少;

② 潔凈無污染,真空抽氣通道內(nèi)無油;

③ 節(jié)約能源,一臺(tái)30m³/h (8.33L/s)的渦旋真空泵僅需要0.6～0.75kW的電機(jī);

④ 節(jié)約運(yùn)行費(fèi)用,渦旋真空泵無油工作, 密封或冷卻都不需要油;

⑤ 運(yùn)動(dòng)部件完全動(dòng)平衡, 振動(dòng)小、噪音低。

       渦旋的概念自1905年由Creux發(fā)明到1973 年世界上第一臺(tái)渦旋模型被制造出來, 其間經(jīng)歷了漫長的70 年。渦旋機(jī)構(gòu)不能加工制造的根本原因就是缺乏精密的加工技術(shù), 不能夠?qū)崿F(xiàn)渦旋型線之間的精確包容與嚙合, 也就不能控制工作介質(zhì)的泄漏, 達(dá)不到渦旋真空泵得性能指標(biāo)。但是渦旋機(jī)構(gòu)具有的抽氣通道內(nèi)沒有油污染、泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行成本低、工作壽命長、能耗低、運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低等特點(diǎn), 對(duì)于真空應(yīng)用行業(yè)具有極大的吸引力和潛在的應(yīng)用價(jià)值。為了將渦旋機(jī)構(gòu)的概念轉(zhuǎn)化為實(shí)用的渦旋真空泵產(chǎn)品, 近二十多年來, 人們借鑒渦旋壓縮機(jī)的設(shè)計(jì)與加工方面的經(jīng)驗(yàn), 成功設(shè)計(jì)并生產(chǎn)出了主要由動(dòng)、靜渦旋盤副與基座、曲軸、密封圈、防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)等五個(gè)部分組成的渦旋真空泵。為了保證渦旋真空泵的工作性能指標(biāo)、高效率和可靠性, 人們開展了大量理論研究與實(shí)驗(yàn)探索。到目前為止這方面的工作主要集中在:

設(shè)計(jì)原則

       要將渦旋機(jī)構(gòu)的概念轉(zhuǎn)化為實(shí)用的渦旋真空泵產(chǎn)品,必須解決下述關(guān)鍵技術(shù)問題: ① 改進(jìn)密封、減少泄漏; ②減小余隙、提高壓縮比; ③優(yōu)化結(jié)構(gòu)、提高可靠性; ④簡(jiǎn)化生產(chǎn)加工工藝、降低對(duì)制造精度的要求、降低成本。

       在渦旋真空泵的設(shè)計(jì)當(dāng)中要從泵的工作效率和可靠性出發(fā), 選擇泵的結(jié)構(gòu)參數(shù)。首先考慮的是泵的性能指標(biāo), 如極限真空度、抽速、能耗、轉(zhuǎn)速、體積、重量以及外部尺寸等; 然后根據(jù)性能指標(biāo)來確定泵的內(nèi)部結(jié)構(gòu)參數(shù), 如渦旋線型、基圓尺寸、渦旋壁厚、渦旋壁高和曲軸徑向偏心量等; 在實(shí)現(xiàn)了性能指標(biāo)的基礎(chǔ)上, 再進(jìn)行泵的整體優(yōu)化, 包括結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化、泵體以及密封材料選擇、軸承選擇、表面處理與驅(qū)動(dòng)電機(jī)的選配等。

結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

       為了提高渦旋真空泵的工作效率, 渦旋真空泵采用了雙面動(dòng)渦旋盤, 使動(dòng)渦旋盤兩面具有完全相同的型線結(jié)構(gòu), 動(dòng)渦旋盤型線工作時(shí)分別與兩側(cè)的靜渦旋盤型線嚙合, 這樣可以使整個(gè)渦旋泵頭運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)受力平衡, 有利于空間的有效利用并減小軸向磨損。

       設(shè)計(jì)時(shí)在圓漸開線的基礎(chǔ)上, 通過給出漸開線曲線的軸向高度和徑向厚度, 形成第二個(gè)渦旋, 兩個(gè)渦旋交叉重疊(相差180°),一個(gè)靜止,一個(gè)旋轉(zhuǎn),形成新月形氣腔。一系列這樣的氣腔將渦旋機(jī)構(gòu)的內(nèi)部與外部分離。根據(jù)配合的渦旋相對(duì)運(yùn)動(dòng)的方向, 將這些氣腔設(shè)計(jì)成徑向內(nèi)移壓縮以實(shí)現(xiàn)真空抽氣。

       在確定了渦旋真空泵的渦旋線型后, 為了實(shí)現(xiàn)使泵能夠有效工作的目的, 必須使渦旋型線在各個(gè)真空氣腔能夠良好嚙合。在渦旋型線的中心段, 圓漸開線型線由于刀具的干涉形成, 使高壓區(qū)渦旋壁厚變薄, 加上相鄰真空腔壓差大等復(fù)雜因素的影響, 導(dǎo)致渦旋壁受力情況惡劣、容易熱變形, 還可能使排氣腔一部分高壓氣體潴留, 降低渦旋真空泵的工作效率。為了解決這些問題, 人們采用圓漸開線線型修正的方法, 改進(jìn)高壓區(qū)渦旋型線結(jié)構(gòu)。這個(gè)方法, 使渦旋壁的剛度和強(qiáng)度有所提高, 并且提高了泵的可靠性。

       為防止兩個(gè)動(dòng)、靜渦旋盤相對(duì)運(yùn)動(dòng), 設(shè)計(jì)時(shí)通常在外圓周上安裝幾個(gè)偏心量相等的小曲軸來束縛動(dòng)渦旋盤與靜渦旋盤, 保證動(dòng)渦旋盤相對(duì)于靜渦旋盤繞行卻不旋轉(zhuǎn)。

泄漏與密封

       渦旋真空泵的泄漏主要包括通過渦旋型線軸向嚙合間隙的徑向泄漏和通過型線徑向嚙合間隙的切向泄漏。徑向泄漏可以采用頂部密封來解決, 而切向泄漏則采用控制動(dòng)渦旋盤與靜渦旋盤壁之間間隙的方法來解決。渦旋真空泵的密封主要包括頂部密封和軸承密封等。頂部密封件就是幾個(gè)細(xì)長的分別安裝在動(dòng)、靜渦旋盤頂部的密封條, 密封條相對(duì)對(duì)面渦旋盤底面作圓周向滑動(dòng), 使氣腔在渦旋盤頂部的泄漏減到最小。由于是無油運(yùn)轉(zhuǎn), 要求密封件耐磨、耐高溫、具有一定的抗蠕變性能。頂部密封件的材質(zhì)、尺寸、位置對(duì)于渦旋真空泵的成功長期運(yùn)轉(zhuǎn)是至關(guān)重要的。軸承密封考慮的是將真空抽氣通道與含潤滑油脂部分隔離,實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的有效清潔無油抽真空。

圖3　徑向泄漏

       解決了渦旋盤的加工和渦旋頂部密封后,就要考慮泵氣腔之間的間隙與密封了。渦旋頂端的有效軸向密封足以防止氣體軸向泄漏。但是渦旋盤本身密封(氣腔之間的密封) 還要求渦旋壁面之間的間隙最小, 以盡量減小相鄰氣腔之間的泄漏。小一些的間隙或者另外再加一些氣腔, 對(duì)改善泵的極限真空度很有必要。雖然在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中, 對(duì)于加工要求有些地方可以放松, 但是真空氣腔在整個(gè)泵運(yùn)動(dòng)過程當(dāng)中必須與大氣密封隔絕, 間隙大小的確定對(duì)設(shè)計(jì)者是一個(gè)挑戰(zhàn), 特別是靠近曲軸的小氣腔之間的間隙。因?yàn)橥ㄟ^熱力學(xué)試驗(yàn)、模擬與分析發(fā)現(xiàn), 由于動(dòng)、靜渦旋盤的結(jié)構(gòu)和工作環(huán)境的影響, 在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中動(dòng)渦旋盤的溫升與變形高于靜渦旋盤, 尤其是在靠近曲軸處。從整個(gè)渦旋真空泵動(dòng)、靜渦旋盤副的嚙合運(yùn)轉(zhuǎn)可以發(fā)現(xiàn), 由于動(dòng)、靜渦旋盤工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生熱變形, 而且變形量并不相同, 動(dòng)、靜渦旋盤之間最小轉(zhuǎn)動(dòng)間隙會(huì)隨工作狀況而變化。間隙過大, 會(huì)導(dǎo)致泵的極限真空度難以達(dá)到, 間隙過小, 動(dòng)、靜渦旋盤之間會(huì)發(fā)生摩擦甚至咬合, 導(dǎo)致溫度急劇上升, 泵的效率大大下降, 或者破壞動(dòng)、靜渦旋盤壁面, 導(dǎo)致泵的咬死失效。

圖4　徑向間隙與切向泄漏

       理論研究與試驗(yàn)證實(shí), 渦旋盤頂端的軸向密封對(duì)于泵的性能, 尤其是泵的極限真空度, 具有決定性的作用, 渦旋盤本身即氣腔之間的間隙與密封對(duì)于泵的性能則起著相當(dāng)重要的作用, 這兩點(diǎn)應(yīng)當(dāng)引起設(shè)計(jì)者的足夠重視。

振動(dòng)與平衡

       現(xiàn)在越來越多的渦旋真空泵應(yīng)用在分析測(cè)試儀器設(shè)備當(dāng)中, 這些儀器對(duì)工作條件與環(huán)境要求較高。包括泵在內(nèi)的儀器設(shè)備一般安放在安靜的房間內(nèi)的桌面上, 泵的振動(dòng)不可以影響到被測(cè)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性,因此必須將振動(dòng)減至最小或者隔離振動(dòng), 這一點(diǎn)設(shè)計(jì)者應(yīng)當(dāng)通過渦旋技術(shù)和設(shè)計(jì)平衡來實(shí)現(xiàn)。

材料選擇與加工

       渦旋盤副的材料選擇是從降低能耗、提高可加工性等方面考慮的。為了進(jìn)一步減少動(dòng)、靜渦旋盤的磨損、降低泵的能耗、提高可加工性, 確定選擇合金鑄鋁為動(dòng)、靜渦旋盤基材, 經(jīng)過適當(dāng)?shù)募庸ず捅砻嫣幚砗? 在高速相對(duì)運(yùn)動(dòng)條件下能夠耐高溫、耐磨和自潤滑, 保證實(shí)現(xiàn)泵的性能指標(biāo)。早期成功制造渦旋真空泵的最大障礙是不能將漸開線型加工得足夠精確以使氣腔間的泄漏減至最小, 這要求開發(fā)一種高速、數(shù)字控制、能夠保證穩(wěn)定公差的加工中心。自上個(gè)世紀(jì)70 年代渦旋模型成功制造出來, 到現(xiàn)在渦旋機(jī)構(gòu)成功應(yīng)用到真空獲得行業(yè)為止, 渦旋盤的加工根據(jù)加工工藝、成本與工作效率的需要主要采用了兩種不同的方法, 即展成法和數(shù)值逼近法。

       為了提高渦旋盤的加工精度與效率, 世界上有些機(jī)械制造公司已經(jīng)生產(chǎn)出了適用于渦旋盤展成法加工的專機(jī)。這類專機(jī)采用四軸聯(lián)動(dòng)和閉環(huán)控制, 以展成法為基礎(chǔ), 結(jié)合圓弧插補(bǔ)與專用夾具, 一次裝卡可以完成渦旋盤的加工。這種專機(jī)自動(dòng)化程度高, 可以自動(dòng)上、下料、自動(dòng)換刀和在線自動(dòng)監(jiān)測(cè)。可以在幾分鐘內(nèi)完成加工, 加工誤差保證在10 Lm 以內(nèi), 大大提高了加工效率和加工精度、降低了加工成本。設(shè)計(jì)與加工中遇到的其他問題還包括密封材料、泵腔表面處理、軸承、抽水氣、防碎屑返流以及真空泵的一些特殊要求等等。

裝配與調(diào)試

       渦旋泵的安裝與調(diào)試主要包括泵頭的安裝: 即泵頭與機(jī)座和電機(jī)的連接。在泵頭的安裝與調(diào)試階段, 能夠解決的最重要的問題就是提高泵的密封性能。

       密封包括渦旋頂部密封和氣腔之間的密封。目前渦旋頂部密封的形式有兩種, 分別為壓差式密封和彈性式密封:

圖5　壓差式密封和彈性式密封

　　壓差式密封和彈性式密封各有優(yōu)點(diǎn), 多數(shù)渦旋真空泵采用的是彈性式密封。彈性式密封的原理很簡(jiǎn)單, 靠彈性密封條的彈性壓緊起到密封作用。在安裝與調(diào)試過程中, 安裝時(shí)首先要注意將密封條沿中心向外輕輕的按壓入頂部密封槽中, 安裝前要注意各部件的清潔。各氣腔的密封是由渦旋體的側(cè)壁之間的縫隙和相對(duì)滑動(dòng)速度的大小決定的, 側(cè)壁的縫隙大小一般控制在0. 005 mm 左右。初步安裝完成后, 首先要試運(yùn)行一段時(shí)間, 再拆開, 去除試運(yùn)行產(chǎn)生的碎屑, 清理泵腔, 然后重新裝上, 安裝好泵頭, 再連接泵頭與電機(jī)和機(jī)座, 完成安裝與調(diào)試。