本文主要介紹和解釋了機(jī)械真空泵的性能常用的參量、參量單位以及意義，包括抽氣速率、極限真空、起動(dòng)壓力、前級(jí)壓力、最大前級(jí)壓力、最大工作壓力、抽氣量、壓縮比。其中泵的抽氣速率和極限真空兩個(gè)參量是在實(shí)際應(yīng)用中選配真空泵的最重要的參量。

1、抽氣速率(體積流率)

　　公式中用s來表示；

　　單位為m³·s^-1；L·s^-1；

　　當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩上指定位置測(cè)得的平衡壓力之比。簡(jiǎn)稱泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時(shí)間內(nèi)從被抽容器中抽走的氣體體積。

2、極限壓力(極限真空度)

　　單位：Pa

　　泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓力。即真空泵的入口端經(jīng)過充分抽氣后所能達(dá)到的最低的穩(wěn)定的壓力。

3、起動(dòng)壓力

　　泵無損壞起動(dòng)并有抽氣作用的壓力。

4、前級(jí)壓力

　　排氣壓力低于一個(gè)大氣壓力的真空泵的出口壓力。

5、最大前級(jí)壓力

　　超過了能使泵損壞的前級(jí)壓力。

6、最大工作壓力

　　對(duì)應(yīng)最大抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。

7、抽氣量

　　公式中以Q表示；

　　單位為：Pa·m³·S^-1；Pa·L·S^-1。

　　流經(jīng)泵入口的氣體流量。

8、壓縮比

　　泵對(duì)給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。