羅茨真空泵最大允許壓差的測量方法

2009-06-03 真空技術論壇轉載 真空技術網整理

最大允許壓差 maximum tolerable differential pressure

        最大允許壓差是指泵連續(xù)運轉1h,不發(fā)生故障所允許的出口壓力與入口壓力差值的最大值。對于中真空羅茨真空泵,測量時的入口壓力應等于或低于1×103Pa。

測試罩 test dome

       具有精確規(guī)定形狀和尺寸的專用真空容器,被測量的氣體通過它進入泵內,其上裝有壓力測量裝置。

        如圖1所示,形狀為圓柱體。罩的軸向尺寸為1.5D,D是罩的內徑。試驗氣體入口位于罩的軸線上,并與連接法蘭的距離為D,進氣口的排列應使氣體自背離泵口的方向進入測試罩。測量入口壓力的真空計在距離連接法蘭0.5D處,其軸線垂直于罩的軸線。測試罩的軸線應垂直于泵入口法蘭平面。除了進氣管路外,法蘭和測試罩之間的連接管路不應穿出測試罩的內壁。

        測試罩的容積VD至少應是泵腔有效容積VP的5倍。在泵入口必須連接一個異徑接頭,其長度不應超過0.5D(見圖1)。不同規(guī)格的泵適用的測試罩由表1給出。

不同規(guī)格的泵適用的測試罩

壓力計

        對于壓力高于或等于1Pa時,其校準精度為±5%,對于更低壓力,其校準精度為±10%。

前級管路及前級管路上的測試罩

        被測的羅茨真空泵出口與前級泵之間的管路為前級管路,應按圖2設計制作。前級管路上的測試罩按圖1設計制作。前級管路上的測試罩直徑不小于前級管路的直徑D1,如不一致時應加接異徑接頭,異徑接頭按圖1設計制做。

前級管路及前級管路上的測試罩

前級管路及前級管路上的測試罩

前級管路及前級管路上的測試罩