羅茨泵轉(zhuǎn)子間隙的分配

2009-08-10 楊乃恒 東北大學

  由于羅茨泵腔內(nèi)無油封,所以轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼(端蓋)之間存在一定的間隙。由于間隙的存在,會造成出口側(cè)向抽氣腔內(nèi)返流,使容積效率下降。羅茨泵的實際抽速要低于理論抽速。 即:

S=Sth-ΔS

  其中ΔS包括以下幾項內(nèi)容,即

ΔS=ΔSF+ΔSSP+ΔSL+ΔSD

式中 ΔSF為充填損失,在抽氣過程進行得非?斓臅r候,被抽氣體來不及充填吸氣腔,造成吸氣腔內(nèi)氣體密度降低,使抽速降低。

  ΔSSP為間隙損失,經(jīng)過轉(zhuǎn)子的間隙由排氣腔向吸入腔返流的氣流量。

  ΔSL為漏氣損失,由于泵體漏氣和軸端漏氣,有一定漏量進入泵的吸氣腔,而使抽速下降。

  ΔSD為吸附損失。由于在排氣側(cè)轉(zhuǎn)子表面吸附氣體轉(zhuǎn)到吸氣側(cè)表面氣體解吸或潤滑油蒸發(fā)進入泵腔,而引起抽速下降。

  這些損失之和構(gòu)成抽氣損失ΔS。其中每一項在ΔS中所占的比例與泵的結(jié)構(gòu)和工作狀態(tài)有關,特別是與吸入壓力和排氣壓力有關。在整個工作壓力范圍內(nèi)ΔSFΔSSP對抽速有所影響。然而ΔSLΔSD,在低壓力范圍內(nèi)才有意義。測量指出在10-1Torr時,ΔSL+ΔSD之和在數(shù)量級上不超過理論抽速的1‰。因此這兩項可以忽略。

  對于ΔSF來說,在吸氣過程中,由吸入口流進吸氣腔的氣體量Q有最大理論值。

Qth=VOρs

  對于快速的吸氣過程,被抽氣體的密度ρs,由于壓差的損失而減小到ρs'。因此ρs'= ρs-Δρs,從而和Qth相比流入的氣體量減少ΔQ。

  一般轉(zhuǎn)子的圓周速度u在50m/s以下,經(jīng)實測其壓差損失相對值(對27℃空氣):

  在u=50m/s時   ΔPs/Ps=6.4E-3

  在u=30m/s時  ΔPs/Ps=2.4E-3

  在u=10m/s時  ΔPs/Ps=0.28E-3

  由此可見,u值越高,則ΔPs/Ps就越大,即ΔSF/Sth值也越大。

  在通常的圓周速度下工作ΔSF/Sth是很小的,故ΔSFSth相比只占6‰,故可以忽略不計。

  這樣一來,總的抽速損失ΔS,實際上只是由間隙返流損失ΔSsp來決定的。ΔSsp是通過一組間隙(圓周間隙、轉(zhuǎn)子間隙和端面間隙)的損失之和。

  間隙損失的大小除與轉(zhuǎn)數(shù)、兩側(cè)的壓力及溫度有關外,還與間隙的尺寸有關,一般間隙尺寸是很小的如表2和表3所示。

  從表2可以看出:在位置1-6處,轉(zhuǎn)子與泵體的徑向間隙,測量的范圍在0.02mm之間。在7-10及15-18位置處,在轉(zhuǎn)子水平和垂直位置時軸承游動端的公差相同。而在11-14及19-22位置為軸承固定端的水平和垂直位置的公差范圍相同,其值小于游動端的公差,23-38位置間隙是均勻的,各點位置均處在相同范圍之內(nèi)。

  羅茨泵的各間隙公差帶可以參考表3數(shù)值。值得注意的是對傳動齒輪的側(cè)隙也有公差要求,因為它會影響兩個轉(zhuǎn)子的相位差。

  羅茨泵的實際抽速S可寫成:

S=Sth-ΔSsp

  式中可通過間隙的返流量來計算, 即:

  其中為泵的各處間隙的總流導(l/s) ,P1,P2為泵入口壓力與出口壓力(Pa)

  經(jīng)過代換,羅茨泵的實際抽速公式為:

  根據(jù)氣流量恒等,可得到:SP1=SfP2,式中Sf前級泵的抽速(l/s)

  因此實際抽速S為:

   羅茨泵的實際抽速S和理論抽速Sth、間隙總流導CB和前級泵抽速Sf有關。

  羅茨泵的極限壓力是指泵口密封,長時間運轉(zhuǎn),在泵口所能達到的穩(wěn)定最低壓力P10,這時前級泵也達到了極限壓力P20,因為泵的有效抽氣量Q為零。即

  由此可見羅茨泵的極限壓力與前級泵的極限壓力有關。

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