制氧/微電子系統(tǒng)用真空泵油的選型
全氟聚醚油，英文簡稱PFPE。它由碳、氧、氟原子組成，屬于耐腐蝕性氣體真空泵油分類中的ISO-6743A—1987\DVB、DVD、DVF類油品.該真空泵油碳氫鍵中的氫原子全部為氟原子取代,由其分子結構特點決定，具有絕佳的熱穩(wěn)定性、化學惰性、不燃性。當受到電子或離子轟擊時，不產生聚合物，不與活性氣體反應，具有優(yōu)良的氧化安定性，熱穩(wěn)定性、化學試劑的惰性和不燃性。具有優(yōu)良的抗臭氧、能夠在VF6、F、PH3、AsH3及其它鹵素化合物（BF3、BCI、PCI3、TiCI4、SnCI4、 SiCI4）等酸性氣體存在的環(huán)境中保持穩(wěn)定。甚至在高溫下也有一定的抗腐蝕作用。與常規(guī)的真空泵油比較可在長時期內保持優(yōu)良的性能。
該類真空泵油為無色透明的液體，密度較大(可達1.95g/cm3 ,20℃時) 、粘度指數(shù)高、表面張力低、折射率低、傾點低�？捎糜谟兄蒲跸到y(tǒng)和有腐蝕氣體的半導體系統(tǒng)和強輻射的場合。
國外的品牌如：意大利蒙特迪生Fomblin oil的YL-VAC、YH-VAC；法國阿爾卡特Alcatel 113；英國愛德華公司Krytox 1506、1514、1525；Fomblin 06/6、16/6、25/6；德國Leybold HE-1200、HE-1600、HE-2700；日本真空R-90、R-95油等。國內生產全氟聚醚油目前有重慶一坪，長城石化。
表16.15 全氟聚醚油的典型理化性能指標 (據(jù)Fomblin®資料)
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項目 |
質量指標 |
||||
|
YL-VAC |
YH-VAC |
||||
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06/6 |
14/6 |
25/5 |
18/8 |
25/9 |
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蒸汽壓/kPa |
2.5×10-9 |
— |
— |
10.6×10-10 3.0×10-2 |
10.6×10-11 2.7×10-3 |
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運動粘度/(mm2/s) |
58 |
130 |
260 |
190 |
285 |
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密度(20℃)/ g/cm3 |
1.88 |
1.89 |
1.90 |
1.89 |
1.90 |
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傾點/℃ |
-50 |
-40 |
-35 |
-42 |
-35 |
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粘度指數(shù) |
— |
70 |
110 |
— |
— |
|
斜率 |
— |
0.65 |
0.07 |
— |
— |
|
比熱容/[J/(g·℃)] |
1.00 |
1.00 |
1.00 |
1.00 |
1.00 |
|
熱導率(20~150℃)/[W/(m·K)] |
(8.8±0.4) |
(8.8±0.4) |
(8.8±0.4) |
(8.8±0.4) |
(8.8±0.4) |
|
粘均相對分子質量 |
1800 |
2450 |
3250 |
2850 |
3400 |
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蒸發(fā)熱(1.3KPa，200℃)/(J/g) |
46.05 |
— |
— |
37.68 |
29.31 |
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餾分范圍(10%~90%，53Pa)/℃ |
157~186 |
— |
— |
— |
— |
|
沸點(13Pa)/℃ |
155 |
— |
— |
200~230 |
210~240 |
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揮發(fā)度(22h，145.9℃)(%)(質量分數(shù)) |
2.6 |
— |
— |
— |
— |
|
表面張力(25℃)/(N/m) |
1.9×10-6 |
2.0×10-2 |
2.0×10-2 |
2.0×10-2 |
2.0×10-2 |
|
折射率(n020) |
1.2928 |
— |
— |
1.2992 |
— |
|
自燃點/℃ |
無 |
無 |
無 |
無 |
無 |
|
閃點/℃ |
無 |
無 |
無 |
無 |
無 |
|
燃點/℃ |
無 |
無 |
無 |
無 |
無 |
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外觀 |
無透明 |
無透明 |
無透明 |
無透明 |
無透明 |
用途:FomblinYL- VAC06/6 (相當于VG22)，主要用于潤滑渦輪分子泵軸承FomblinYL -VAC014/6 （相當于VG46）、YL- VAC25/5(相當于VG100)，可用于超凈和安全的真空系統(tǒng)，如掃描發(fā)射電子顯微鏡、質普儀、粒子加速器、有腐蝕性氣體的微電子真空系統(tǒng)。FomblinYH-VAC 18/8、25/9主要用作擴散泵工作液。
