1、羅茨泵噪聲過大的問題及噪聲源定位方法

　　氣冷式直排大氣羅茨真空機(jī)組在安裝好之后工作的噪聲很大。但是究竟是哪一個(gè)部位的噪聲貢獻(xiàn)值較大，且在什么情況下噪聲值較大，真空技術(shù)網(wǎng)(www.chvacum.com)認(rèn)為這都是需要解決的問題。故需要對(duì)此真空機(jī)組進(jìn)行噪聲源定位研究。

　　該真空機(jī)組噪聲源定位采用聲壓法并逐級(jí)定位的方法。先用聲級(jí)計(jì)測(cè)出各測(cè)點(diǎn)處的聲壓值，再根據(jù)各測(cè)點(diǎn)的聲壓值的大小以及其在真空機(jī)組上對(duì)應(yīng)的相對(duì)部位來確定機(jī)組各部位對(duì)機(jī)組噪聲貢獻(xiàn)大小，并進(jìn)行排列，找出噪聲貢獻(xiàn)較大部位，對(duì)該部位的各組件再進(jìn)行聲壓測(cè)試，從而確定噪聲值較大部位。

2、噪聲測(cè)試原理

　　本測(cè)試的儀器設(shè)備采用手持式精密噪聲分析儀，該分析儀具有簡(jiǎn)單易用、安全可靠、智能化、測(cè)量精度高和性能優(yōu)良等優(yōu)點(diǎn)。原理框圖見圖2。

圖2 測(cè)量原理圖

　　真空機(jī)組產(chǎn)生的噪聲由傳聲器接收，并將聲音信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。電信號(hào)經(jīng)過放大與濾波得到信號(hào)大小與成分適當(dāng)?shù)哪�擬信號(hào)，該模擬信號(hào)需要經(jīng)過A/D 轉(zhuǎn)換才能得到相應(yīng)的數(shù)字信號(hào)，并在計(jì)算機(jī)中用相應(yīng)的軟件進(jìn)行分析便可得到機(jī)組噪聲的頻譜等。

3、羅茨泵機(jī)組噪聲測(cè)點(diǎn)布置及測(cè)試條件

　　測(cè)量前，應(yīng)該按照?qǐng)D1 對(duì)機(jī)組周圍布置測(cè)點(diǎn)，共有18 個(gè)測(cè)點(diǎn)。其中，有十個(gè)測(cè)點(diǎn)分布在五臺(tái)泵的兩側(cè)，有三個(gè)測(cè)點(diǎn)分布在進(jìn)氣口處，另有三個(gè)測(cè)點(diǎn)分布在消聲器背面。

　　測(cè)試條件為分別在真空度為0.1 Pa、1 Pa、5 Pa、23.7 Pa、94 Pa、1000 Pa、5000 Pa、8000 Pa、11000 Pa、25000 Pa 和80000 Pa 對(duì)18 個(gè)測(cè)點(diǎn)進(jìn)行噪聲測(cè)試，測(cè)試時(shí)手持式分析儀距離機(jī)組和地面都為1.5 m。同時(shí)，背景噪聲為37.6 dB。