羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。其結(jié)構(gòu)形式是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來的。它于1944年首先出現(xiàn)于德國，是為適應(yīng)在 10 ～ 1000Pa 壓力范圍內(nèi)具有大抽速的真空熔煉系統(tǒng)而作為機(jī)械增壓泵使用。

根據(jù)羅茨真空泵工作壓力范圍的不同，分為

　　1、低真空羅茨泵：直排大氣的干式單級(jí)羅茨泵(10000Pa)和濕式羅茨泵(2000Pa)；

　　2、中真空羅茨泵：機(jī)械增壓泵(1×10^-1 Pa)；

　　3、高真空羅茨泵：多級(jí)干式羅茨泵(高真空多級(jí)羅茨泵；

　　國內(nèi)用量最多的為中真空羅茨泵 (以下簡稱羅茨泵) 。

羅茨泵與其它油封式機(jī)械泵相比有以下特點(diǎn)：

　　1、在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;

　　2、轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;

　　3、泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染;

　　4、泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

　　5、壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差;

　　6、轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

羅茨泵在真空工程領(lǐng)域中應(yīng)用

　　1、在中真空范圍作為機(jī)械增壓泵應(yīng)用，一般與前級(jí)泵(旋片泵，滑閥泵和水環(huán)泵等)串聯(lián)構(gòu)成真空機(jī)組；

　　2、雙級(jí)或多級(jí)羅茨泵機(jī)組可獲得高真空；

　　3、對(duì)于干式清潔無油的抽氣系統(tǒng)多用氣冷式羅茨泵機(jī)組；

　　4、對(duì)于含水蒸氣的被抽系統(tǒng)，多用濕式羅茨泵；