滑閥泵應(yīng)用范圍和使用條件與旋片泵基本相同。

　　滑閥泵因其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量比旋片泵大得多，常用在大型真空設(shè)備上�；�閥泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種形式。單級(jí)泵的極限壓力對(duì)小泵≤0.6Pa，對(duì)大泵≤1.3Pa，雙級(jí)泵的極限壓力≤0.06Pa(均關(guān)氣鎮(zhèn))。

　　滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大偏心 ，如沒有很好的質(zhì)量平衡，會(huì)產(chǎn)生較大振動(dòng)。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運(yùn)動(dòng)軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線，很難實(shí)現(xiàn)對(duì)滑閥泵慣性力的完全平衡。

　　滑閥泵的振動(dòng)限制了泵轉(zhuǎn)速的提高，泵轉(zhuǎn)速一般在350～600r/min，個(gè)別也有達(dá)1000r/min以上的。

　　新型三腔滑閥泵的出現(xiàn)，較好地解決了滑閥泵的質(zhì)量平衡，使泵的振動(dòng)得到了有效的控制，泵轉(zhuǎn)速也可相得到提高。

圖1 滑閥泵工作原理圖

　　泵主要由泵體、偏心輪、滑閥組件和導(dǎo)軌等組成。

　　與泵腔同心的驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)偏心輪旋轉(zhuǎn)，偏心輪帶動(dòng)滑閥環(huán)運(yùn)動(dòng)，使滑閥桿在導(dǎo)軌中上下滑動(dòng)和左右擺動(dòng)�；�閥將泵腔分成A、B兩個(gè)部分。當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸按圖中所示方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，A腔容積增加，壓力降低，氣體經(jīng)滑閥桿A腔一側(cè)的開口進(jìn)入A腔，此時(shí)處于吸氣過(guò)程。當(dāng)滑閥處于左上方位置時(shí)(圖3-16c中)，A腔容積達(dá)最大，此時(shí)進(jìn)氣口與A腔隔絕，完成吸氣過(guò)程;B腔容積減小，壓縮氣體。當(dāng)B腔內(nèi)氣體壓力達(dá)到排氣壓力時(shí)，推開油封的排氣閥，開始排氣。當(dāng)滑閥處于左上方位置時(shí)，排氣終了。

1.泵蓋 2.氣鎮(zhèn)量調(diào)節(jié)閥 3.導(dǎo)管 4.逆止閥 5.油氣分離器

圖2 滑閥泵結(jié)構(gòu)圖