非金屬軟件變形真空動(dòng)密封連接

　　非金屬軟件變形真空動(dòng)密封連接的主要密封物質(zhì)是真空橡膠管。由于橡膠管放氣和不能承受高溫，因此，對(duì)要求達(dá)到1.3×10-4 Pa 以下的壓強(qiáng)，或應(yīng)進(jìn)行高溫烘烤的真空設(shè)備，限制使用這種連接。當(dāng)然，如果采用耐熱硅膠，其使用溫度范圍也可以達(dá)到150℃。真空橡膠管所傳遞的運(yùn)動(dòng)形式主要有兩種，即直線運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

　　在應(yīng)用非金屬柔性元件的動(dòng)連接密封中，也可以采用橡膠薄板為密封物質(zhì)。橡膠薄板的外邊緣固定在真空容器的外壁上。內(nèi)邊緣則固定在軸的突肩上。圓筒形橡膠薄板可以折疊180°，因此在利用圓筒形橡膠板時(shí)，連桿工作行程不超過(guò)隔板自由狀態(tài)部分外徑的10%。這種結(jié)構(gòu)常常用在氣動(dòng)真空閥，以及低真空和中真空的閥門中。這種密封裝置雖然結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單、成本低廉，但是由于非金屬軟件的材料為真空橡膠制品，它不但不能承受轉(zhuǎn)矩，也會(huì)因放氣而影響真空室內(nèi)真空度的提高，更不能承受高溫的烘烤。因此不宜在超高真空動(dòng)密封中使用。

金屬軟件變形真空動(dòng)密封連接

　　在金屬軟件變形的真空動(dòng)密封連接中采用金屬波紋管實(shí)現(xiàn)向真空中傳遞直線運(yùn)動(dòng)、擺動(dòng)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)是比較方便的。其特點(diǎn)是在真空中的從動(dòng)環(huán)節(jié)的位移量大、運(yùn)動(dòng)速度高、傳遞的負(fù)荷范圍也較寬。

　　利用全金屬波紋管制成的動(dòng)密封裝置，不但結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單而且在結(jié)構(gòu)中易實(shí)現(xiàn)兩種或多種形式的傳動(dòng)。此外，由于波紋管是薄壁制成的金屬管，并且富有彈性、容易彎曲、伸張和壓縮，又能經(jīng)受高溫烘烤，因此，近年來(lái)在一些真空設(shè)備上得到了一定的應(yīng)用。

　　金屬波紋管的主要缺點(diǎn)是制造比較復(fù)雜，裝配不夠方便，而且不宜用于傳遞高速度的運(yùn)動(dòng)，波紋管在使用時(shí)也應(yīng)注意，首先壓縮要均勻，否則會(huì)在管子的圓周上產(chǎn)生局部應(yīng)力而造成破裂。波紋管只能承受拉、壓而不能承受扭轉(zhuǎn)。這就使它的應(yīng)用范圍受到了限制。

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