常用CF法蘭的型號和尺寸表
CF法蘭的內(nèi)側(cè)有凸起的鋒利刀口，通過擠壓無氧銅墊圈(或其他軟金屬)使其變形而達(dá)到密封真空的目的，是全金屬材料的密封方式，被廣泛應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)中。CF法蘭也常用ICF法蘭來表示，CF后面的數(shù)字是標(biāo)準(zhǔn)的導(dǎo)管內(nèi)徑，而ICF后面的數(shù)字是法蘭的外徑。常用CF法蘭的型號和尺寸見表1。
CF法蘭分為固定型和松套型兩種。固定型法蘭為一體化結(jié)構(gòu)。松套型法蘭由擠壓銅墊圈的刀口部分和通過螺栓的固定部分構(gòu)成。法蘭上可開通孔或螺紋孔。開有通孔的法蘭要通過螺栓和螺母固定;開有螺紋孔的法蘭可直接使用螺栓固定。法蘭的材質(zhì)主要為 SUS304(或 SUS304L)，因為SUS304放出氣體少，加工和焊接比較容易。
表1 常用CF法蘭的型號和尺寸
注：n×d中n為孔的個數(shù)，d為孔徑(mm)。
CF法蘭的特點是不分雌雄，包括無氧銅墊圈在內(nèi)全部由金屬構(gòu)成，因此可以承受高溫(250℃以上)烘烤。其缺點是價格高，無氧銅墊圈不能多次重復(fù)使用。
CF法蘭的安裝
CF法蘭的安裝要求較高。因為無氧銅墊圈被擠壓后會變形，所以用均等力量扭緊螺栓非常重要。如果螺栓用力不均勻，會使對角位置的法蘭翹起，以至于漏氣。扭緊螺栓的力矩大約如下：M4螺栓20kgf·cm，M6螺栓70kgf·cm，M8螺栓100kgf·cm。
CF法蘭使用注意事項
CF法蘭使用時有幾個注意點：螺栓一定要涂抹 MoS2，以免螺栓和螺母咬合卡死;法蘭外周要對齊;法蘭面要保持一點距離，為烘烤后繼續(xù)上緊螺栓留出余地。
CF法蘭中，刀口要切入金屬密封圈來實現(xiàn)真空密封。長期使用，刀口會逐漸變鈍。另外，受硬器碰撞后刀口容易受傷。這時的補救措施之一，是使用IPD金屬密封圈。IPD金屬密封圈不依靠法蘭的刀口，而依靠刀口外周的斜面來密封。
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常用CF法蘭的型號和尺寸表
