高真空玻璃系統(tǒng)的研究與改進
高真空玻璃系統(tǒng)的研究與改進
馬寅光 張滌新 劉蘇民
(蘭州空間技術(shù)物理研究所 蘭州 730000)
摘要:在真空技術(shù)中經(jīng)常需要設(shè)計和制造玻璃真空系統(tǒng)。玻璃真空系統(tǒng)具有其特有的優(yōu)勢,結(jié)構(gòu)簡單、過程直觀、改造方便、造價低廉、加工時間短。
在一些特定條件下是金屬系統(tǒng)不可取代的,例如在真空蒸餾活性堿金屬的過程中,由于強堿金屬對于金屬真空系統(tǒng)具有
腐蝕作用,導(dǎo)致金屬系統(tǒng)在堿金屬氣氛下不能長時間工作,而玻璃系統(tǒng)可以緩解這種腐蝕,使得系統(tǒng)可以長時間工作在堿金屬氣氛中而不會降低其真空性能。
本文正是基于玻璃真空系統(tǒng)的這種不可替代性,對典型的玻璃高真空系統(tǒng)進行了研究和改進。提出了利用小型鈦離子泵和玻璃四級擴散泵聯(lián)合抽氣的方法實現(xiàn)玻璃真空系統(tǒng)的高真空。內(nèi)容主要包括玻璃真空系統(tǒng)的典型結(jié)構(gòu)、玻璃真空系統(tǒng)的測量、玻璃真空系統(tǒng)的檢漏、改進后玻璃真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、性能等內(nèi)容。