如何選配合適的前級泵和預抽泵
真空系統(tǒng)的主泵選定之后,重要的問題是如何選配合適的前級泵和預抽泵。通常前級泵直接影響主泵的抽氣性能,影響真空系統(tǒng)的抽氣時間和經濟效益。配前級泵時應遵循如下幾點規(guī)定:
(1)前級泵應保證能及時排出主泵所排出的氣體流量。
(2)前級泵在主泵(如擴散泵、油增壓泵,分子泵和羅茨泵)出口處造成的壓強應低于主泵的最大排氣壓強。
(3)兼作預抽泵的前級泵應滿足預抽時間的要求。
當選用油蒸氣流泵作為主泵時,配前級泵的方法可以按經驗標準所推薦的前級泵的大小來確定,見表4。
所配前級泵確定之后,即可按前級泵的入口尺寸選擇前級管道閥和預抽管道閥,確定備部分連接管道的尺寸。根據(jù)以上的確定,可繪制出真空系統(tǒng)設計圖。
分子泵作為主泵時,其抽氣能力與前級泵的抽氣能力有密切關系。分子泵的前級側需要保持分子流狀態(tài),它才能穩(wěn)定工作。為了保證分子泵前級側處于分子流狀態(tài),通常按式(47)選取前級泵的抽速。
羅茨泵作為主泵時,由于羅茨泵的轉子與轉子、轉子與定子之間的間隙較大,所以它對氣體的壓縮比較小,一般其前綴泵要大些。通?捎糜头鈾C械泵或水環(huán)泵作為羅茨泵的前級泵,前級泵的抽速可根據(jù)經驗公式(48)選取。