提問：

　　在我的渦輪分子泵組里，我用隔膜泵作為前級泵。但是我想要一種抽速更高、本底真空度更好的干式前級泵作為替代，因為我想要在高真空下達(dá)到更低壓力，而且更加快速地再生低溫泵。你有什么建議?有什么需要注意的? 在購買替代品之前有什么我應(yīng)當(dāng)考慮的嗎?

　　回答:

　　我們建議您采用我們的ACP系列干式前級泵，相比隔膜泵，該系列具有更高的抽速和更好的本底真空度。

　　背景：

　　ACP泵是一款多級羅茨泵。由于其設(shè)計，該類型的泵在抽吸模塊沒有密封。由于不存在易于變質(zhì)損壞的抽吸模塊密封，運行時的性能參數(shù)穩(wěn)定，泵所產(chǎn)生 的真空非常清潔，沒有微粒。通過減少磨損部件，使得泵可以達(dá)到很長的維護(hù)保養(yǎng) 周期，高達(dá)四年或22000運轉(zhuǎn)小時(在所有運行條件下)。這種風(fēng)冷式泵有三個型號，抽速高達(dá)37m³/h，比我們最大的隔膜泵快四倍。此外，ACP泵的本底真空度至少比我們最好的隔膜泵好十倍。對于少量腐蝕性介質(zhì)的抽吸，選擇采用惰性氣體 凈化的版本。具有氣鎮(zhèn)的ACP可以用于可冷凝介質(zhì)。

　　你應(yīng)該考慮以下要點：

　　1、如果真空泵輸送腐蝕性介質(zhì)，當(dāng)泵停機時可能會含有該介質(zhì)殘留物。停電或緊 急停機時正是如此�？諝饣虼髿馑�分等氣體從排氣管反向擴散回到停止運行的 泵里。例如，空氣水分和鹵素形成的酸 會腐蝕泵材料。為了避免該過程，所有 ACP泵在泵出口上都配備有止回閥。

　　在高真空應(yīng)用中，氣體流量非常小。因此，泵內(nèi)部無法形成從內(nèi)部在出口處打 開閥門的壓力。真空室和前真空線內(nèi)的氣體成分在高真空下泵循環(huán)期間主要為輕質(zhì)氣體，例如氫氣。如果這些氣體沒有被逐出前級泵，由于ACP泵定子和轉(zhuǎn)子之間的間隙，它們會擴散回到泵中，而且，由于使用中的渦輪泵的壓縮比恒定，它們還會導(dǎo)致高真空下總壓力升高。因此，如果你使用氣鎮(zhèn)，通過載氣流間歇性地逐出輕質(zhì)氣體，這會給你的系統(tǒng)基礎(chǔ)壓力帶來積極作用。

　　雖然使用氣鎮(zhèn)導(dǎo)致前真空線總壓力上升至大約0.1mbar，但是由于前真空線的輕質(zhì)氣體部分壓力降低，高真空側(cè)的總壓力將下降。

　　HiPace渦輪泵和ACP前級泵的組合可以在干式真空系統(tǒng)中輕松到達(dá)明顯低于10^-10 mbar(=10^-8 Pa)的本底壓力。

　　2、你在問題中提到你想要再生低溫泵。在低溫抽氣泵再生過程中，大量水蒸氣在短時間聚集在一起。為了避免水蒸氣在泵內(nèi)冷凝，應(yīng)當(dāng)對其進(jìn)行加熱。由于壓縮熱量增加，使用氣鎮(zhèn)使泵得以加熱。在低溫抽氣泵再生之前， 你應(yīng)當(dāng)激活A(yù)CP泵中的氣鎮(zhèn)至少三十分鐘。再生之后，氣鎮(zhèn)應(yīng)當(dāng)繼續(xù)運行至少三十分鐘。

　　兩項建議都涉及氣鎮(zhèn)的使用。對于可以控制和/或遠(yuǎn)程控制的氣鎮(zhèn)，除了內(nèi)置的開關(guān)閥門選擇以外，可以將變徑法蘭用螺釘固定到泵定子上代替標(biāo)準(zhǔn)閥門。具體應(yīng)用的配件可以隨意連接到該適配器上。

　　當(dāng)有腐蝕性介質(zhì)時，應(yīng)當(dāng)使用惰性氣體，例如干氮氣，用作沖洗介質(zhì)。

　　為了在停電期間防止你的系統(tǒng)通過氣鎮(zhèn)排氣，我們建議在前級真空處使用電磁閥。