氙氣質(zhì)量流量計校準(zhǔn)裝置的設(shè)計

趙瀾 馮焱 成永軍 魏萬印 張瑞芳 孫雯君

(蘭州空間技術(shù)物理研究所，甘肅 蘭州 730000)

　　摘要：設(shè)計了基于定容法的氙氣質(zhì)量流量計校準(zhǔn)裝置，裝置由校準(zhǔn)室系統(tǒng)、測量系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)等五部分組成。

　　在設(shè)計時，校準(zhǔn)室采用全金屬結(jié)構(gòu)，可以整體烘烤，減小漏放氣影響;

　　采用了高精度的電容薄膜規(guī)、鉑電阻溫度計作為測量儀器，保證壓力及溫度測量的準(zhǔn)確性;

　　供氣系統(tǒng)中設(shè)計兩個穩(wěn)壓容器，既保證測量中一定的入口壓力，又保證對系統(tǒng)進行清洗和充氣的氣源;

　　抽氣系統(tǒng)采用分子泵和機械泵串聯(lián)抽氣，提高真空系統(tǒng)的本底;

　　采用計算機采集壓力、溫度及時間的數(shù)據(jù)，保證數(shù)據(jù)的可靠性。

　　裝置的預(yù)計氣體流量測量范圍(5.1×10^-4～1.0)Pa·m³/s，Xe氣對應(yīng)的質(zhì)量流量測量范圍為(2.89×10^-2～5.78×10¹)mg/s，標(biāo)準(zhǔn)不確定度為1.2%。