電容薄膜規(guī)在真空環(huán)境下測量偏差的原因分析

2013-03-13 杜春林 可靠性與環(huán)境工程技術重點實驗室

電容薄膜規(guī)在真空環(huán)境下測量偏差的原因分析

杜春林 許忠旭 常冬林

可靠性與環(huán)境工程技術重點實驗室 北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所

　　摘要：在某大型航天器泄復壓試驗的調試中，使用了電容薄膜規(guī)(以下簡稱薄膜規(guī))進行密封艙內真空度測量。由于測量時薄膜規(guī)處于真空環(huán)境中，因此測量數據出現了較大的偏差。

　　本文即對這一問題進行原因分析，提出薄膜本底偏移量是產生偏差的最重要原因，并有針對性地采取解決措施。

　　關鍵詞：薄膜規(guī) 本底偏移量 真空 偏差