1、測(cè)量壓力范圍寬，為10⁵～10^-14 Pa。

　　2、大部分真空計(jì)是間接測(cè)量，只有壓力為10⁵～10Pa時(shí)，可直接測(cè)單位面積所受的力。但大多數(shù)真空測(cè)量的壓力比上述要小，不能直接測(cè)量，應(yīng)利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導(dǎo)、粘滯性和電離等)進(jìn)行間接測(cè)量。

　　3、多采用非電量電測(cè)技術(shù)。由于非電量電測(cè)技術(shù)具有靈敏度高、反應(yīng)迅速、可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)和遠(yuǎn)距離測(cè)量，因此，大部分真空計(jì)采用這一方法。電子式真空計(jì)是由真空測(cè)量規(guī)管和電子測(cè)量電路(控制和指示單元)兩部分組成。規(guī)管是敏感元件，它利用氣體在低壓下的某些特性將非電量的氣體壓力轉(zhuǎn)變成電信號(hào)，再由測(cè)量電路將規(guī)管輸出的電信號(hào)進(jìn)行放大和顯示。必要時(shí)，將輸出信號(hào)送至自動(dòng)記錄儀和自動(dòng)控制設(shè)備中，實(shí)現(xiàn)真空設(shè)備自動(dòng)化。規(guī)管將非電量壓力轉(zhuǎn)變成電量所需的條件，由測(cè)量電路的控制單元提供。

　　4、部分真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類和成分有關(guān)。所以測(cè)量時(shí)要特別注意被測(cè)量氣體種類和成分，否則會(huì)造成很大誤差。

　　5、測(cè)量精度不高。在間接測(cè)量壓力過程中，往往需要外加能量來協(xié)助。外加能量可能是熱能、電能、機(jī)械能和放射能等。這樣，在引入外加能量的同時(shí)，也不可避免地引進(jìn)了測(cè)量誤差。因此，真空測(cè)量?jī)x表的精度比其他物理測(cè)量?jī)x表要低。如真空測(cè)量基準(zhǔn)儀表和標(biāo)準(zhǔn)儀表的不確定度為(2～ 10)×10^-2，工作儀表的測(cè)量誤差在±20×10^-2以內(nèi)就很好了。