真空規(guī)原位校準裝置的不確定度來源主要在以下幾個方面。

1、校準室設(shè)計引起的不確定度

       校準室設(shè)計完全符合ISO 的有關(guān)真空標準的規(guī)定，克服了氣體分子的束流效應，而且校準室是一個完整的球形容器，最有利于建立起均勻的、各向同性的分子流場。根據(jù)蒙特卡洛模擬計算，對于球形容器，在高真空狀態(tài)下赤道附近分子密度的不均勻性小于0.13％。校準室的容積滿足被校規(guī)總體積的20 倍的要求，所以校準熱陰極電離規(guī)時吸放氣的影響可以忽略。

2、本底壓力造成的不確定度

       校準室內(nèi)本底壓力對被校規(guī)的影響，主要是容器內(nèi)殘余氣體成分和容器壁的吸放氣造成的。選擇分子泵抽氣，經(jīng)烘烤后殘余氣體成分主要為H2，實際校準時都采用N2 作為校準氣體，而且要求本底壓力低于最小被校壓力的2 個數(shù)量級，這樣本底壓力造成的不確定度分量小于2%。

3、校準室中壓力波動造成的不確定度

       在校準范圍內(nèi)，用參照標準規(guī)測量校準室中3 min 的壓力波動，通過實驗得到的結(jié)果最大為1%。

4、電離規(guī)之間的相互影響造成的不確定度

       當同時校準幾支電離規(guī)時，一支規(guī)管的開關(guān)會對其他規(guī)管的讀數(shù)造成影響，而現(xiàn)場校準室容器較大，一般都是單支校準，這種影響造成的不確定度可以忽略。

5、 規(guī)管安裝位置造成的不確定度

       安裝在校準室上和測試系統(tǒng)的被校規(guī)不能處于同一赤道平面上，所以被校準規(guī)和參照標準規(guī)之間存在一定的壓力梯度，通過實驗得到的結(jié)果為1%。

6、主標準器的不確定度

       主標準器每年要在一等標準裝置上進行校準，所以它的不確定度應由一等標準的不確定度、加上隨機校準的不確定度分量合成，一般小于1.5%左右。

7、工作現(xiàn)場環(huán)境影響的不確定度

       由于工作現(xiàn)場環(huán)境條件不易控制，很難將環(huán)境溫度恒溫在23 ℃附近，一般造成小于3.5%的影響。

       根據(jù)以上分析評估，該裝置的合成不確定度小于5%，擴展不確定度小于10%（k=2），符合國家二等真空標準不確定度小于10%的要求，可以開展量值的校準工作。