DL-10型真空計產品使用說明書
2009-06-08 王遜 北京大學電子學系
一、 概述
DL-10型真空計是石英晶振真空計。它的量程較寬，精度較高。該真空計由規(guī)管與控制單元組成，控制單元的數碼管顯示壓強值。
二、 技術要求
1、 測量范圍：10—105Pa
2、 電源：交流 220V,50Hz
3、 功率：7W
4、 機箱尺寸：200×90 ×160mm（寬×高×深）
三、 原理
DL-10型真空計是應用石英晶振的諧振阻抗與 氣體壓強有關的特性做的真空計。石英晶振裝在鋁殼中做成規(guī)管，管 徑為15.5mm，可通過接口插入系統。諧振阻抗的測量電路如圖1所示 ：
VAB為晶振兩端電壓
I 為流過晶振的電流
電流I流過與 晶振串聯的電阻R，在電阻兩端的電壓為VBD
VAB 近似等于AC兩端電壓 V0,VBD近似等于DC兩端電壓V1，由測量的 V0，V1值及電阻值，可以計算出阻抗。單片 機將阻抗轉換成壓強，由數碼管顯示壓強值。
四、DL-10真空計的安裝
DL-10真空計的安裝如圖2所示：
石英晶振及振蕩電路放在探頭內，引線電纜通過 5芯插頭插入控制單元后面板的插座內，探頭Φ15.5直徑的管道插入 真空系統。電源電纜一頭插入控制單元后面板插座，另一端插入電源 插座。電源插座應含接地線，使控制單元機箱接地。打開電源開關， 控制單元數碼管顯示壓強值。數碼管顯示3.2 E 2 表示壓強值 為3.2×102Pa 。
五、校準
當環(huán)境溫度變化時，應對DL-10進行校準，校準方法如下：
1、大氣校準：在規(guī)管壓強為大氣時，用改錐按 壓控制單元前面板大氣孔內的按鍵，松開后即可。
2、零點調節(jié)：在規(guī)管壓強小于1×10- 2Pa時，用改錐按壓控制單元前面板零點孔內的按鍵，松開后 即可。
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