3.2 尺寸的確定

　　a．裝置主要涉及部件的尺寸如下：

　　b．封頭上端開(kāi)Ø10孔，與微調(diào)閥底座進(jìn)行焊接，微調(diào)閥底座扳手空間為15mm；

　　c．封頭內(nèi)徑DN=300mm，封頭壁厚δs=3mm；

　　d．穩(wěn)壓裝置筒體部分為與封頭配合，內(nèi)徑為300mm，為與氟橡膠密封結(jié)構(gòu)法蘭尺寸相配合， Dg=300mm，壁厚為3mm；

　　e．氟橡膠密封墊尺寸取Dg=300mm；

　　f．所購(gòu)分子泵為DN100螺栓法蘭連接結(jié)構(gòu)，高真空插板閥采用標(biāo)準(zhǔn)DN100高真空插板閥；

　　g．為實(shí)現(xiàn)穩(wěn)壓裝置與插板閥連接，設(shè)計(jì)連接過(guò)渡件內(nèi)徑為100mm，外徑為106mm。根據(jù)安裝尺寸，確定總高為187mm，側(cè)面法蘭開(kāi)口處開(kāi)在距下端113mm處；

　　h．過(guò)渡連接焊接法蘭與DN100高真空插板閥采用了螺栓法蘭連接，法蘭依照參考文獻(xiàn)1的 I型超高真空法蘭DN=100設(shè)計(jì)；

　　i．銅墊采用DN100刀口密封法蘭標(biāo)準(zhǔn)銅墊；

　　j．穩(wěn)壓裝置體積的計(jì)算：

　　依據(jù)總圖的尺寸，并忽略小體積，計(jì)算其容積大小：

　　DN=300mm時(shí)封頭的容積V=0.0053m3，
　　總?cè)莘eV總=0.0053+[(180+20)π×502+205π×1502] ×10-9=0.0214 （m3）>20(L)

4　裝置的驗(yàn)收及使用情況

　　裝置完成后，進(jìn)行了探漏及安裝。發(fā)現(xiàn)的問(wèn)題有，微調(diào)進(jìn)氣閥底座漏率及穩(wěn)壓裝置側(cè)面焊縫漏率不滿足要求，刀口密封法蘭加工精度未達(dá)到圖紙要求導(dǎo)致安裝不上等。

　　通過(guò)漏處補(bǔ)焊，刀口密封法蘭重新加工等手段使問(wèn)題解決。

　　確認(rèn)裝置已消除加工缺陷后，將裝置安裝于校表實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，使用阿爾卡特ASM120h探漏儀進(jìn)行探漏，各處單點(diǎn)漏率均<1×10^-10Pa•m³/s。
對(duì)裝置的抽空性能的驗(yàn)收：用旋片泵對(duì)裝置抽空，極限真空達(dá)到<10^-1Pa，開(kāi)分子泵，5分鐘后真空度達(dá)到<1×10^-3Pa，滿足了設(shè)計(jì)要求。經(jīng)2天深抽除氣，用DL-5型B-A規(guī)測(cè)量穩(wěn)壓裝置本底的漲幅<1×10^-4Pa /s。

　　在裝置上依據(jù)使用情況的不同，分別裝上0.1乇至1000乇精度范圍在0.15%以內(nèi)通過(guò)計(jì)量部門標(biāo)定合格的薄膜式壓力計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn)表，對(duì)其它待校真空規(guī)進(jìn)行指定范圍的校準(zhǔn)及比對(duì)。數(shù)據(jù)舉例如下。

　　用裝置對(duì)萊寶TM22真空規(guī)進(jìn)行校準(zhǔn)，校準(zhǔn)后的比對(duì)數(shù)據(jù)如下：

表1 TM22真空規(guī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

表2 10乇薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

表3 100乇薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

　　從以上例子可以看出：該裝置可以有效地控制穩(wěn)壓容器的真空范圍，并且在校準(zhǔn)過(guò)程中真空規(guī)讀數(shù)幾乎變化，可以在任意范圍對(duì)被校準(zhǔn)表進(jìn)行調(diào)節(jié)，使其達(dá)到滿意的精度。因此用此裝置可適用于常用真空規(guī)的校準(zhǔn)和比對(duì)，且效果理想，能達(dá)到比對(duì)校準(zhǔn)的要求。

5  裝置的誤差

　　在普通真空規(guī)校準(zhǔn)中，所引起的誤差因素主要包括以下幾方面：
　　a．真空規(guī)安裝位置引起的誤差；
　　b．規(guī)管的抽氣和出氣所引起的誤差；
　　c．溫度引起的誤差。

　　本裝置的優(yōu)點(diǎn)在于：

　　采用對(duì)稱結(jié)構(gòu)避免了真空規(guī)安裝位置引起的誤差；

　　在實(shí)驗(yàn)室狀態(tài)下基本不存在溫度引起的誤差；

　　裝置產(chǎn)生的誤差主要為規(guī)管的抽氣和出氣所引起的誤差，而本裝置可采用加熱及長(zhǎng)時(shí)間深抽除氣大大減小規(guī)管的抽氣和出氣所引起的誤差。

　　因此由于本裝置自身造成的校對(duì)誤差可忽略不計(jì)。

結(jié)論

　　該校表裝置可以同時(shí)校準(zhǔn)最多7個(gè)真空規(guī)（一個(gè)校準(zhǔn)接口接校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)表）。采用對(duì)稱性結(jié)構(gòu)消除了由于結(jié)構(gòu)影響造成的誤差。穩(wěn)壓容器的真空度保持良好，旋片泵和分子泵的極限真空達(dá)到了使用要求。該套裝置充分滿足了目前大批量驗(yàn)收和校準(zhǔn)真空規(guī)的要求，并可有效減少由校表裝置引起的校對(duì)的誤差。如果需要校對(duì)超高真空儀表，可在本裝置的設(shè)計(jì)基礎(chǔ)上更換更高極限真空的分子泵和采用全焊接結(jié)構(gòu)替代現(xiàn)在的氟橡膠密封結(jié)構(gòu)。