便攜式真空校準(zhǔn)裝置

盧耀文¹ 陳旭¹ 李得天² 齊京¹ 查良鎮(zhèn)¹

(1.清華大學(xué)，北京 100084; 2.蘭州物理研究所，甘肅 蘭州730000)

　　摘 要：為了解決許多應(yīng)用領(lǐng)域?qū)φ婵沼?jì)的校準(zhǔn)需求，研制出便攜式真空校準(zhǔn)裝置。采用直徑為200mm 的球形容器作為校準(zhǔn)室，用兩臺不同量程的電容薄膜規(guī)作為參考標(biāo)準(zhǔn)，將靜態(tài)比對法、靜態(tài)膨脹法及動態(tài)流導(dǎo)法集成在一臺裝置上，實(shí)現(xiàn)1×10⁵～4×10-6 Pa 范圍對真空計(jì)的校準(zhǔn)。

　　靜態(tài)比對法的校準(zhǔn)范圍為1×10⁵～5×10^-1 Pa ，合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為1.3%;靜態(tài)膨脹法的校準(zhǔn)范圍為5×10^-1～5×10^-3 Pa，合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為1.5%;動態(tài)流導(dǎo)法采用兩個不同流導(dǎo)小孔衰減壓力實(shí)現(xiàn)的校準(zhǔn)范圍為5×10^-3～4×10^-6 Pa，合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為3.7%～4.7%。

　　裝置的外形尺寸為長×寬×高=450×400×750mm,總重量小于40 公斤，具有體積小、重量輕、成本低、便攜等優(yōu)點(diǎn)。

　　關(guān)鍵詞：真空計(jì);計(jì)量;校準(zhǔn);便攜式