直接比對法質譜計校準裝置如圖1所示。校準裝置通過一個閥控制引入的氣體流量, 這種技術不需要知道氣體流量, 校準裝置包括被校質譜計和參考標準規(guī), 參考標準規(guī)推薦采用磁懸浮轉子規(guī)(SRG)和電離規(guī)(IG)。

        磁懸浮轉子規(guī)和質譜計的測量范圍都受到限制,但它們有足夠的重疊范圍,因此是一種較好的校準方法。兩種參考標準規(guī)都是全壓力規(guī), 且靈敏度都與氣體種類有關, 因此, 只能用單一氣體進行校準。質譜計和參考標準規(guī)應正確安裝,以保證壓力相同。

1. 分壓力質譜計　2. 校準室　3. 微調閥　4. 參考標準規(guī)　5. 氣源　6, 10. 隔斷閥　7, 9. 機械泵　8, 11. 熱傳導規(guī)　12. 分子泵　13. 放氣閥

圖1　直接比對法校準裝置原理圖

其它相關文章：

1. 分壓力質譜計校準裝置與校準前檢查
2. 壓力衰減法質譜計校準裝置
3. 直接比對法質譜計校準裝置
4. 小孔流導法質譜計校準裝置