日本AIST 在上個(gè)世紀(jì)末研制出的分壓力測(cè)量系統(tǒng)，其工作原理如圖6 所示。用電容薄膜真空計(jì)和石英晶體振蕩黏滯真空計(jì)作為參考標(biāo)準(zhǔn)，采用電容薄膜規(guī)只能測(cè)量全壓力，而石英規(guī)的測(cè)量結(jié)果與氣體的全壓力和氣體成分相關(guān)的特點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了兩種混合氣體分壓力的測(cè)量。

圖6 日本建立的分壓力測(cè)量系統(tǒng)原理圖

　　1.臭氧生成器　2,6,12.質(zhì)量流控制器　3,5,13.超高真空角閥　4,14.混合點(diǎn)　7.氧氣A　8.臭氧氣體流　9.電容薄膜壓力計(jì)　10.石英規(guī)　11.氧氣B 　15.氣體混合裝置　16.臭氧氣體分析器　17.臭氧分解裝置　18.排氣裝置

　　石英真空計(jì)是利用石英晶體振蕩器的阻抗與壓力的依賴(lài)關(guān)系而制造成的黏滯真空計(jì)，因?yàn)槭�英晶體振蕩器對(duì)溫度非常敏感，就使得實(shí)際的真空計(jì)的壓力測(cè)量下限僅為1Pa，所以建立的校準(zhǔn)系統(tǒng)只能在正壓和低真空范圍內(nèi)工作，其分壓力測(cè)量范圍是10² ～ 10⁶ Pa。一般質(zhì)譜計(jì)的真空度在10 ^{- 2} Pa 以下，所以系統(tǒng)無(wú)法用于質(zhì)譜計(jì)的校準(zhǔn)。系統(tǒng)的工作氣體是氧氣和臭氧，由于系統(tǒng)分析單元的特定性，只能對(duì)氧氣和臭氧的混合氣體進(jìn)行分壓力的測(cè)量，所以此系統(tǒng)只能用于特定環(huán)境下的分壓力測(cè)量，使用范圍比較小。