靜態(tài)膨脹校準(zhǔn)低真空計(jì)方法

2020-05-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

　　1910年克努曾最早提出靜態(tài)膨脹法壓力校準(zhǔn)系統(tǒng)。靜態(tài)膨脹校準(zhǔn)低真空計(jì)時(shí)，因?yàn)槿萜鞅谖�、放氣不顯著，校準(zhǔn)精度較高。在高真空校準(zhǔn)時(shí)，由于器壁吸、放氣顯著，必須設(shè)法減小其影響。此方法制作簡(jiǎn)單、操作方便、運(yùn)算迅速、檢定效率高，且排除了汞蒸氣對(duì)人的危害。

　　膨脹法校準(zhǔn)是基于波意耳定律，即在恒定的溫度下，一定質(zhì)量的氣體的壓力與體積之積為一常數(shù)。

圖29：?jiǎn)渭?jí)膨脹系統(tǒng)工作示意圖

　　單級(jí)膨脹系統(tǒng)工作示意圖見圖29所示。首先將氣源室中充有需要壓力為p1的校準(zhǔn)氣體，由標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)G2測(cè)量。再將校準(zhǔn)室抽氣至低于校準(zhǔn)壓力下限兩至三個(gè)數(shù)量級(jí)。這樣可略去校準(zhǔn)室本底壓力對(duì)校準(zhǔn)的影響。

　　每操作一次傳遞閥K4，就將由氣源室中的壓力為p1容積為傳遞容積Vs的氣體輸送到校準(zhǔn)室。第一次膨脹后，校準(zhǔn)室壓力見式27。