真空閥門的基本要求
1、閥門的密封性能要求,即應(yīng)用有較高的氣密性,不但閥蓋(亦稱閥板)封閉處漏氣率要求,而且閥體的漏氣率也要求;
2、閥門密封部件耐磨性要好。特別是閥座與閥蓋密封部件要能反復(fù)使用、壽命長;
3、閥門對氣流的阻力盡量小,即閥門的流導(dǎo)盡可能要好;
4、閥門材料應(yīng)具有低飽和蒸氣壓、高抗腐蝕能力和高化學(xué)穩(wěn)定性、超高真空閥門材料應(yīng)耐烘烤。烘烤溫度一般不低于150℃、最高450℃;
5、閥門零部件加工工藝性要好,表面處理工藝先進(jìn),閥門連接法蘭應(yīng)符合真空法蘭國家標(biāo)準(zhǔn)要求。具有通用性、互換性;
6、閥門結(jié)構(gòu)要簡單,造型美觀大方,開關(guān)輕便、靈活。開關(guān)狀態(tài)應(yīng)有標(biāo)志。大型閥門(公稱直徑500mm以上)應(yīng)用起吊裝置,操作方便,維修容易。