1、真空翻板閥的工作原理和使用范圍

　　真空翻板閥工作原理如圖1所示。閥板運動由兩個動作組成，即閥板平動和翻轉(zhuǎn)，平動用于壓緊或脫離密封面，翻轉(zhuǎn)用于將閥板翻轉(zhuǎn)一定角度(通長為0°～90°)，以獲得一定的通導(dǎo)能力。

　　和真空擋板閥相比，優(yōu)點是閥桿運動距離短，動作速度快，閥體總高度較小，缺點是全開啟后，閥板仍處于氣流通道上，增加了流阻。閥體尺寸較大，要留有足夠閥板翻轉(zhuǎn)空間，防止碰撞卡住。整體機構(gòu)較擋板復(fù)雜，制造成本較高。

圖1 氣動翻板式真空閥

1—汽缸；2—活塞；3—閥桿；4—閥體； 5—支桿；6—銷；7—閥蓋

　　真空翻板閥閥板翻轉(zhuǎn)的機構(gòu)類型很多，常見的有：四連桿傳動機構(gòu)、蚌線機構(gòu)、鏈板翻板機構(gòu)以及止動桿翻板機構(gòu)。驅(qū)動方式有手動、液壓傳動、氣動、手電兩用傳動等。

　　真空翻板閥適合于中、大型口徑的高真空、超高真空抽氣系統(tǒng)中，多為直角式，可充分利用抽氣管道中的彎頭空間。

　　閥門適用介質(zhì)為非腐蝕性潔凈氣體，閥板密封采用丁腈橡膠，可用于介質(zhì)溫度為-25～80℃的高真空系統(tǒng)。采用氟橡膠可用于烘烤溫度150℃以下的超高真空系統(tǒng)。

2、真空翻板閥的形式和性能參數(shù)

　　CF-J型手動翻板閥是靠人工旋轉(zhuǎn)閥門手柄使閥板上下運動，實現(xiàn)閥板啟閉動作。

　　CFQ-J型氣動翻板閥是利用壓縮空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，使汽缸中活塞做往復(fù)運動，帶動閥板啟閉，實現(xiàn)真空系統(tǒng)中的氣流截止或?qū)�通�?/p>