真空閥門主要用來切斷或連通管路氣流，以及調(diào)節(jié)氣流量的大小。

　　常用真空閥門的密封部有橡膠墊圈密封結(jié)構(gòu)和金屬墊圈密封結(jié)構(gòu)。橡膠墊圈密封結(jié)構(gòu)是利用閥板與閥座壓緊橡膠墊圈，依靠橡膠的彈性變形來實現(xiàn)的密封。金屬墊圈密封結(jié)構(gòu)是依靠軟金屬受壓產(chǎn)生塑性變形而達到密封目的。橡膠墊圈密封結(jié)構(gòu)一般用于中低真空領(lǐng)域;金屬墊圈密封結(jié)構(gòu)一般用于高真空和超高真空領(lǐng)域。

　　真空閥門的主要性能參數(shù)是導(dǎo)通率、漏氣率、開關(guān)動作的可靠性和準(zhǔn)確性，以及閥門的開閉時間。閥門按照驅(qū)動形式分為手動和自動兩種。自動閥門以壓縮空氣驅(qū)動為主，一部分小型閥門通過電磁鐵來驅(qū)動。真空系統(tǒng)中常用的閥門大體有4種形式，即角閥、閘板閥、微調(diào)閥、放氣閥。另外，在氣路中常用到針閥和球閥。各種真空閥門根據(jù)應(yīng)用的真空領(lǐng)域和使用目的而選定。