真空閥門大致有兩種:一種是關(guān)閉后隔絕大氣和真空空間的開關(guān)形閥門,另一種是調(diào)整通氣量的流量可變閥門。后者在導(dǎo)入氣體之類的設(shè)備上使用。    １.開關(guān)氣路

    一般而言的真空閥門是指開關(guān)氣路閥門。閥門的基本功能是在關(guān)閉時確實隔絕大氣和真空空間。

   (1)真空閥門的基本結(jié)構(gòu)

(1)閥門封口部,

(2)傳動軸,

(3)外罩封口部。

以L形閥門為例如圖所示。根據(jù)三個部分的構(gòu)造不同,被利用在不同的真空領(lǐng)域。

   (2) 閥門的形式

    閥門大體有四種形式,即角閥,蝶閥,直通閥和閘閥。其特點由圖2所示。各種閥門根據(jù)應(yīng)用的真空領(lǐng)域而選定

   (3) 閥門的驅(qū)動

    閥門的驅(qū)動有手動和自動兩種。自動閥門以壓縮空氣驅(qū)動為主,一部分小型閥門通過電磁鐵來驅(qū)動。

    2.流量可變閥門

    流量可變閥門主要應(yīng)用于控制向真空容器內(nèi)氣體導(dǎo)入量和控制有效排氣速度。

   (1)氣體導(dǎo)入閥門

    圖3所示的閥門,通過控制無氧銅和超硬合金接觸面的氣體導(dǎo)通率來控制氣體流量,信賴性高。流量可變閥門由金屬構(gòu)成,可以烘烤也可以切斷氣體導(dǎo)入。

    這種閥門被安裝在真空腔和排氣泵之間,通過調(diào)節(jié)氣體導(dǎo)通率來調(diào)節(jié)排氣速度。相片1是蝶形閥門,通過活塞角度的變化調(diào)節(jié)氣體導(dǎo)通率。