真空混合漏孔漏氣過(guò)程的原理圖
真空容器如存在混合漏孔,即使漏率達(dá)到1×10-3PaL/s量級(jí),也無(wú)法用常規(guī)的噴吹示漏氣體探測(cè)漏孔。
圖1為混合漏孔漏氣過(guò)程的原理圖,示漏氣體從器壁的大氣側(cè)的通道A 進(jìn)入夾層空間,再經(jīng)歷一個(gè)漏入和抽走的一個(gè)平衡過(guò)程,以及示漏氣體與原夾層空間貯存空氣的混合替代過(guò)程,最后經(jīng)通道B進(jìn)入真空室。由于通道A和B都是一個(gè)微小漏孔,即使夾層空間體積很小,這個(gè)抽氣平衡過(guò)程仍將是十分緩慢,表現(xiàn)在進(jìn)入真空室內(nèi)示漏氣體的濃度平衡時(shí)間即反應(yīng)時(shí)間變得十分漫長(zhǎng)。只有采用氣罩法,才能保證進(jìn)行連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間注入示漏氣體,以便在真空室內(nèi)建立起一定濃度的示漏氣體。拆除氣罩,示漏氣體停止注入后,原存貯在漏孔通道中的示漏氣體同樣要經(jīng)很長(zhǎng)的時(shí)間才能流失,即有很長(zhǎng)的保持時(shí)間。
實(shí)際混合漏孔的夾層空間和通道可能是空腔、毛細(xì)管或焊縫等,通道和夾層空間可能等效成很多個(gè),示漏氣體經(jīng)漏孔通道進(jìn)入夾層空間,再與該夾層空間內(nèi)原貯存空氣相混合需有一定時(shí)間,特別是這些通道和腔體往往會(huì)處在高壓強(qiáng)下,要依靠緩慢的氣體擴(kuò)散而混合,這就造成了示漏氣體流動(dòng)的延遲過(guò)程。多級(jí)串接和延遲,將形成超長(zhǎng)的總延遲時(shí)間。很顯然,在延遲期內(nèi),真空室內(nèi)基本還沒(méi)有出現(xiàn)示漏氣體,即使應(yīng)用高靈敏度的檢漏儀,也測(cè)不到示漏氣體,這種長(zhǎng)延遲特性是普通漏孔所沒(méi)有的現(xiàn)象,易被人們忽略,錯(cuò)誤認(rèn)為沒(méi)有漏孔。
圖1 混合漏孔泄漏過(guò)程圖
圖1 所示混合漏孔,通道A和B一般不在一個(gè)位置,即使探得A ,也難發(fā)現(xiàn)B。故給補(bǔ)焊造成困難。堵焊了A ,僅造成一個(gè)“死空間”,變成了真空系統(tǒng)的一個(gè)放氣源。
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